[發(fā)明專利]確定掩模擾動(dòng)信號(hào)的方法、設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110982237.4
• 申請(qǐng)日: 2021-08-25
• 公開（公告）號(hào): CN113671804A
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 全芯智造技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 馬明月

1.一種用于確定掩模擾動(dòng)信號(hào)的方法，包括：

多次增大掩模上第一區(qū)域內(nèi)的子區(qū)域，直至所述子區(qū)域的尺寸與所述第一區(qū)域的尺寸一致；

響應(yīng)于每次增大，分別確定與增大后的所述子區(qū)域?qū)?yīng)的圖像強(qiáng)度值，所述圖像強(qiáng)度值表示光刻時(shí)所述子區(qū)域在晶圓上產(chǎn)生的圖像信號(hào)的強(qiáng)度值；以及

基于所確定的圖像強(qiáng)度值中的至少一部分，確定所述第一區(qū)域內(nèi)的第二區(qū)域的擾動(dòng)將在所述晶圓上產(chǎn)生的擾動(dòng)信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中確定與增大后的所述子區(qū)域?qū)?yīng)的所述圖像強(qiáng)度值包括：

確定所述子區(qū)域的尺寸與光刻模型中的核函數(shù)的卷積值，所述核函數(shù)在所述光刻模型中用于模擬光刻行為；以及

將所述卷積值確定為所述圖像強(qiáng)度值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述核函數(shù)包括多個(gè)線性函數(shù)，并且確定所述子區(qū)域的尺寸與所述光刻模型中的所述核函數(shù)的所述卷積值包括：

分別確定所述子區(qū)域的尺寸與所述多個(gè)線性函數(shù)的分量卷積值；以及

將分別確定的所述分量卷積值之和確定為所述卷積值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中多次增大掩模上所述第一區(qū)域內(nèi)的所述子區(qū)域包括：

自所述第一區(qū)域內(nèi)選定的原點(diǎn)，以第一步長遞增所述子區(qū)域在第一方向上的第一尺寸；以及

自所述原點(diǎn)，以第二步長遞增所述子區(qū)域在第二方向上的第二尺寸，所述第二方向與所述第一方向垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中確定所述第一區(qū)域內(nèi)的第二區(qū)域的擾動(dòng)將在所述晶圓上產(chǎn)生的擾動(dòng)信號(hào)包括：

從多次增大的所述子區(qū)域中確定與所述第二區(qū)域的邊界處的多個(gè)點(diǎn)分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)子區(qū)域；以及

基于分別與所述多個(gè)子區(qū)域?qū)?yīng)的所述圖像強(qiáng)度值，確定所述擾動(dòng)信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述多個(gè)點(diǎn)包括所述邊界處的至少一個(gè)頂點(diǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述第二區(qū)域?yàn)槎噙呅危⑶宜鲋辽僖粋€(gè)頂點(diǎn)包括所述第二區(qū)域的所有頂點(diǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的方法，其中基于分別與所述多個(gè)子區(qū)域?qū)?yīng)的所述圖像強(qiáng)度值確定所述擾動(dòng)信號(hào)包括：

對(duì)分別與所述多個(gè)子區(qū)域?qū)?yīng)的所述圖像強(qiáng)度值進(jìn)行線性運(yùn)算；以及

將所述線性運(yùn)算的結(jié)果確定為所述擾動(dòng)信號(hào)。

9.一種電子設(shè)備，包括：

處理器；以及

與所述處理器耦合的存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器具有存儲(chǔ)于其中的指令，所述指令在被處理器執(zhí)行時(shí)使所述設(shè)備執(zhí)行動(dòng)作，所述動(dòng)作包括：

多次增大掩模上第一區(qū)域內(nèi)的子區(qū)域，直至所述子區(qū)域的尺寸與所述第一區(qū)域的尺寸一致；

響應(yīng)于每次增大，分別確定與增大后的所述子區(qū)域?qū)?yīng)的圖像強(qiáng)度值，所述圖像強(qiáng)度值表示光刻時(shí)所述子區(qū)域?qū)⒃诰A上產(chǎn)生的圖像信號(hào)的強(qiáng)度值；以及

基于所確定的圖像強(qiáng)度值中的至少一部分，確定所述第一區(qū)域內(nèi)的第二區(qū)域的擾動(dòng)將在所述晶圓上產(chǎn)生的擾動(dòng)信號(hào)。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的用于確定掩模擾動(dòng)信號(hào)的方法。