[發明專利]鋁鈧合金靶材及采用大氣高溫擴散燒結成型制造方法

有效

• 申請號: 202110981254.6
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113652657B
• 公開（公告）日: 2023-10-10
• 發明（設計）人: 王興權;丁照崇;賈倩;曹曉萌;何金江;滕海濤;李勇軍;張曉娜;馮昭偉;劉曉
• 申請（專利權）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/23;B22F5/00;C22C1/04;C22C21/00;C22C28/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 陳波

1.一種鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于，包括：

第一步，選擇粒度優化級配的球形Al金屬粉末和Sc金屬粉末作為原料，按照目標合金成分進行配料、混合均勻；

第二步，將第一步獲得的混合粉末裝入封閉的彈性包套內，冷等靜壓成型，得到鋁鈧素坯；

第三步，將鋁鈧素坯置于大氣氛燒結爐進行擴散燒結，得到鋁鈧合金靶坯；

第四步，將第三步獲得的鋁鈧合金靶坯進行機加工、與背板焊接，最后得到成品鋁鈧合金靶材。

2.如權利要求1所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第一步中球形粉末的粒度分布為：D10為5～10μm，D50為40～80μm，D90為100～150μm。

3.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第二步中粉末松裝密度大于50％。

4.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第三步中彈性包套抽真空優于1.3*10^-4Pa。

5.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第三步中靜壓成型的壓力為500～700MPa，保壓時間為5～10min。

6.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第三步中得到的鋁鈧合金靶坯致密度95％以上。

7.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第四步中擴散燒結溫度為500～630℃，擴散燒結時間為6～12小時。

8.如權利要求1或2所述鋁鈧合金靶材大氣高溫擴散燒結成型制造方法，其特征在于：所述第四步中得到的鋁鈧合金靶坯的致密度在99％以上。

9.采用權利要求1至8任一項所述制造方法制造的鋁鈧合金靶材。

10.如權利要求9所述的鋁鈧合金靶材，其特征在于：鈧質量含量為5～55wt％。