[發(fā)明專利]一種浸沒式ArF光刻用光產(chǎn)酸劑及光刻膠組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110979405.4
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113820918B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王溯;方書農(nóng);徐森
• 申請（專利權(quán)）人: 上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 王衛(wèi)彬;馬續(xù)紅

1.一種如式I所示的化合物作為光產(chǎn)酸劑在光刻膠中的應(yīng)用；

其中，R¹、R²、R³、R⁴和R⁵獨(dú)立地為H、鹵素、C_1-6烷基或-O-C_1-6烷基；

n為2或3；

A為S或I；

Y為

2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物滿足如下1個(gè)或2個(gè)條件：

①R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中，所述的鹵素為F、Cl、Br或I；

②R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中，所述的C_1-6烷基和所述的-O-C_1-6烷基中的C_1-6烷基獨(dú)立地為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基或叔丁基。

3.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物滿足如下1個(gè)或多個(gè)條件：

①R¹、R²、R³、R⁴和R⁵為H；

②n為3；

③A為S。

4.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于，為

5.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于，R¹、R²、R³、R⁴和R⁵為H；

n為3；

A為S；

Y為

6.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物為如下任一化合物：

7.一種光刻膠組合物，其包括如下原料：如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的如式I所示的化合物、如式(1)所示的樹脂、堿性添加劑和溶劑；

8.如權(quán)利要求7所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的光刻膠組合物滿足如下1個(gè)或多個(gè)條件：

①所述的光刻膠組合物中，所述的如式I所示的化合物以重量份計(jì)的份數(shù)為2-10份；

②所述的光刻膠組合物中，所述的如式(1)所示的樹脂以重量份計(jì)的份數(shù)為20-120份；

③所述的光刻膠組合物中，所述的如式(1)所示的樹脂的重均分子量為8000-9000g/mol；

④所述的光刻膠組合物中，所述的堿性添加劑以重量份計(jì)的份數(shù)為0.1-1份；

⑤所述的光刻膠組合物中，所述的堿性添加劑為C_1-4烷基季銨堿；

⑥所述的光刻膠組合物中，所述的溶劑以重量份計(jì)的份數(shù)為500-2000份；

⑦所述的光刻膠組合物中，所述的溶劑為酯類溶劑。

9.如權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的光刻膠組合物滿足如下1個(gè)或多個(gè)條件：

①所述的光刻膠組合物中，所述的如式I所示的化合物以重量份計(jì)的份數(shù)為4份；

②所述的光刻膠組合物中，所述的如式(1)所示的樹脂以重量份計(jì)的份數(shù)為100份；

③所述的光刻膠組合物中，所述的如式(1)所示的樹脂的重均分子量為8500g/mol；

④所述的光刻膠組合物中，所述的堿性添加劑以重量份計(jì)的份數(shù)為0.5份；

⑤所述的光刻膠組合物中，所述的堿性添加劑為四甲基氫氧化銨；

⑥所述的光刻膠組合物中，所述的溶劑以重量份計(jì)的份數(shù)為1000份；

⑦所述的光刻膠組合物中，所述的溶劑為丙二醇甲醚乙酸酯。

10.如權(quán)利要求7-9任一項(xiàng)所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的光刻膠組合物由如下原料組成：所述的如式I所示的化合物、所述的樹脂、所述的堿性添加劑和所述的溶劑。