[發(fā)明專(zhuān)利]層疊裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110976563.4
• 申請(qǐng)日: 2021-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114121486A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 川合祐亮;那須慶太;櫻井誠(chéng)志
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日機(jī)裝株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01G4/30
• 分類(lèi)號(hào): H01G4/30;H01G4/002
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽(yáng)

本發(fā)明涉及一種具備薄片矯正單元的層疊裝置，能夠不使對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上的薄片損傷，而防止薄片的變形。本發(fā)明的解決單元將多片薄片進(jìn)行層疊的層疊裝置，具備：對(duì)準(zhǔn)臺(tái)；薄片移動(dòng)單元，使薄片對(duì)于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)；及對(duì)準(zhǔn)單元，進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上所載置的薄片的對(duì)位；薄片移動(dòng)單元包含薄片矯正單元，矯正單元具有在與對(duì)準(zhǔn)臺(tái)之間夾持薄片的薄片矯正板，在將薄片矯正板的荷重負(fù)荷于薄片的狀態(tài)下，使薄片矯正板追隨對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的移動(dòng)。據(jù)此，由于通過(guò)薄片矯正板的荷重從上方將推壓力負(fù)荷于薄片，所以能夠矯正薄片的變形。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明特別是關(guān)于一種在與對(duì)準(zhǔn)臺(tái)之間夾持薄片的具備薄片矯正單元的層疊裝置。

背景技術(shù)

層疊裝置將構(gòu)成電子零件的多片薄片進(jìn)行層疊，具有對(duì)準(zhǔn)(alignment)單元及層疊單元。此對(duì)準(zhǔn)單元在通過(guò)層疊單元將薄片進(jìn)行層疊之前，通過(guò)進(jìn)行各薄片的對(duì)準(zhǔn)(也稱(chēng)為”對(duì)齊”)而能夠抑制要形成的層疊體的各薄片彼此的偏移。

例如，于專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載有：于對(duì)準(zhǔn)單元中，將薄片載置于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)(alignmentstage)上后，根據(jù)薄片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(alignment mark)的位置信息，使對(duì)準(zhǔn)臺(tái)移動(dòng)，進(jìn)行薄片的對(duì)準(zhǔn)而形成層疊體的內(nèi)容。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專(zhuān)利文獻(xiàn)]

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2000-173859號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所欲解決的技術(shù)問(wèn)題]

近年來(lái)，由于對(duì)于上述的方式所形成的層疊體要求小型化及低矮化，故進(jìn)行所層疊的薄片本身的薄化。由于此經(jīng)薄化后的薄片的剛性較低，所以如專(zhuān)利文獻(xiàn)1那般，若僅是將薄片載置于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上，就有會(huì)在薄片產(chǎn)生沿著外周緣的垂直方向的翹曲、中央部的垂直方向的松垮，或?qū)?zhǔn)臺(tái)面內(nèi)的扭曲等變形之憂。

另外，于此狀態(tài)下，將薄片吸附于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)時(shí)，會(huì)有薄片因產(chǎn)生不可逆的皺折，不僅對(duì)薄片損傷，并且變得難以將薄片整面密接于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)之憂。結(jié)果，由于無(wú)法正確地辨識(shí)已設(shè)于薄片上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，所以產(chǎn)生了在薄片的對(duì)位上精度明顯降低，無(wú)法抑制在層疊體的各薄片彼此產(chǎn)生偏移等問(wèn)題。

本發(fā)明鑒于上述的技術(shù)問(wèn)題而完成的發(fā)明，目的在于提供一種具備薄片矯正單元的層疊裝置，不會(huì)使對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上的薄片損傷，且能夠防止薄片的變形。

[用以解決技術(shù)問(wèn)題的手段]

解決上述技術(shù)問(wèn)題的本發(fā)明的一方案，為一種層疊裝置，也就是將多片薄片進(jìn)行層疊的層疊裝置，具備：對(duì)準(zhǔn)臺(tái)；薄片移動(dòng)單元，使前述薄片對(duì)前述對(duì)準(zhǔn)臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)；及對(duì)準(zhǔn)單元，進(jìn)行前述對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上所載置的前述薄片的對(duì)位；前述薄片移動(dòng)單元包含薄片矯正單元，該矯正單元具有在與前述對(duì)準(zhǔn)臺(tái)之間夾持前述薄片的薄片矯正板，在將前述薄片矯正板的荷重負(fù)荷于前述薄片的狀態(tài)下，使前述薄片矯正板追隨前述對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的移動(dòng)。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片矯正單元具有彈推構(gòu)件，不僅前述薄片矯正板的荷重，而且將前述彈推構(gòu)件的彈推力負(fù)荷于薄片。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片矯正單元更具備浮動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述薄片矯正板與前述浮動(dòng)機(jī)構(gòu)一體地連接。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片矯正單元更具備：浮動(dòng)機(jī)構(gòu)；及矯正板鎖固機(jī)構(gòu)，以可自由裝拆的方式將前述薄片矯正板與前述浮動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片矯正單元具備：浮動(dòng)鎖固機(jī)構(gòu)，使前述浮動(dòng)機(jī)構(gòu)呈固定狀態(tài)及解除狀態(tài)。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片移動(dòng)機(jī)構(gòu)作為將回收對(duì)象薄片從對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上回收的薄片回收單元。

另外，上述層疊裝置中，也可建構(gòu)成前述薄片移動(dòng)機(jī)構(gòu)作為將薄片供給至對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上的薄片供給單元。

[發(fā)明效果]