[發明專利]曝光工藝及曝光機

在審

• 申請號: 202110972435.2
• 申請日: 2021-08-24
• 公開（公告）號: CN113687576A
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 倪沁心;陳鐵玉;陳建明;梁添貴
• 申請（專利權）人: 廣東華恒智能科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20;H05K3/06
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 熊思遠

1.曝光工藝，其特征在于，包括如下步驟：

輸入對位精度公差；

獲取柔性線路板與菲林片之間的第一尺寸偏差值；

對比所述第一尺寸偏差值與所述對位精度公差；

若所述第一尺寸偏差值≤所述對位精度公差，對所述柔性線路板進行曝光；

若所述第一尺寸偏差值＞所述對位精度公差，對所述柔性線路板進行分區曝光。

2.根據權利要求1所述的曝光工藝，其特征在于，

所述對柔性線路板進行分區曝光包括如下步驟：

將所述柔性線路板劃分為若干個尺寸相同的區域；

獲取任一所述區域與所述菲林片相對應的部分之間的第二尺寸偏差值；

若所述第二尺寸偏差值≤所述對位精度公差，逐個對所述區域進行曝光；

若所述第二尺寸偏差值＞所述對位精度公差，重新將所述柔性線路板劃分為若干個尺寸相同的所述區域，其中，重新劃分的所述區域的數量大于原先的所述區域的數量，直至所述第二尺寸偏差值≤所述對位精度公差。

3.根據權利要求1所述的曝光工藝，其特征在于，

所述獲取柔性線路板與菲林片之間的第一尺寸偏差值包括如下步驟：

對位調整所述柔性線路板與所述菲林片的相對位置；

獲取所述柔性線路板上的識別點與所述菲林片上的定位點之間的位置偏差；

計算所述柔性線路板與所述菲林片之間的所述第一尺寸偏差值。

4.根據權利要求3所述的曝光工藝，其特征在于，

所述獲取所述區域與所述菲林片相對應的部分之間的第二尺寸偏差值包括如下步驟：

獲取所述區域的識別點與所述菲林片相對應的部分的定位點之間的位置偏差；

計算所述區域與所述菲林片相對應的部分之間的第二尺寸偏差值。

5.根據權利要求4所述的曝光工藝，其特征在于，獲取所述第二尺寸偏差值時所需的識別點至少有部分與獲取所述第一尺寸偏差值時所需的識別點相重疊。

6.根據權利要求2所述的曝光工藝，其特征在于，

所述逐個對所述區域進行曝光還包括如下步驟：

逐個漏出其中一個未曝光的區域，并遮擋其他區域，對漏出的區域進行對位曝光，直至所有所述區域曝光完成。

7.根據權利要求1所述的曝光工藝，其特征在于，還包括如下步驟：

獲取所述柔性線路板與另一塊菲林片之間的第三尺寸偏差值；

對比所述第三尺寸偏差值與所述對位精度公差；

若所述第三尺寸偏差值≤所述對位精度公差，通過另一塊菲林片對所述柔性線路板進行曝光。

8.根據權利要求7所述的曝光工藝，其特征在于，

所述獲取所述柔性線路板與另一塊菲林片之間的第三尺寸偏差值包括：

輸入所述菲林片的尺寸數據和所述另一塊菲林片的尺寸數據；

通過所述菲林片的尺寸數據和所述另一塊菲林片的尺寸計算所述第三尺寸偏差值。

9.曝光機，其特征在于：采用上述權利要求1至8中任一項所述的曝光工藝對所述柔性線路板進行曝光。