[發(fā)明專利]一種堿性溶液去除掩模臟污的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110968302.8
• 申請(qǐng)日: 2021-08-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113578850A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 華衛(wèi)群;尤春;楊長(zhǎng)華;劉維維;顧夢(mèng)星;劉浩;汪志得;莫金圻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;F26B5/08
• 代理公司: 無(wú)錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 張劍鋒

1.一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，包括浸泡裝置和清洗液，所述浸泡裝置包括缸、花籃、攪棒，所述清液液的原料組成包括98％的氫氧化鈉、去離子水、SPM溶液和SC1溶液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，所述溶液缸的長(zhǎng)寬高尺寸分別為22cm、22cm和25cm，所述98％的氫氧化鈉溶液和去離子水在溶液缸中相互混合配制濃度為0.8mol/L—1.5mol/L的混合液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，所述混合液靜置20-30分鐘，所述花籃上設(shè)計(jì)三個(gè)不同尺寸的與掩模尺寸相適應(yīng)的卡口，所述花籃內(nèi)部卡接有掩模。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，所述花籃放置于溶液缸內(nèi)部，所述花籃每四分鐘上下移動(dòng)一次，所述花籃浸泡時(shí)間為25-30分鐘，所述掩模放置在去離子水中浸泡10-20分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，所述掩模通過(guò)SPM溶液配合SC1溶液清洗，所述SPM溶液為混合比為4:1的濃硫酸和過(guò)氧化氫混合液。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，所述掩模通過(guò)高轉(zhuǎn)速離心機(jī)甩干，所述高轉(zhuǎn)速離心機(jī)轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速為1200轉(zhuǎn)/分鐘。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堿性溶液去除掩模臟污的方法，其特征在于，包括以下制備步驟：

(1)首先將98％的氫氧化鈉溶液和去離子水放入到缸中進(jìn)行配置，通過(guò)使用攪棒進(jìn)行攪拌；

(2)接著靜置混合液至待溶液由渾濁變清，將裝有掩模的花籃放置在缸中進(jìn)行清洗；

(3)然后將掩模放置在去離子水中浸泡，去除殘留的氫氧化鈉溶液，通過(guò)使用SPM溶液配合SC1溶液清洗掩模上的有機(jī)物，將其氧化成二氧化碳。

(4)最后通過(guò)使用高轉(zhuǎn)速離心機(jī)，將掩模甩干。