[發(fā)明專利]一種提升靶材利用率的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110963009.2
• 申請日: 2021-08-20
• 公開（公告）號: CN113774338A
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發(fā)明（設計）人: 陳加柱;龔文廣;羅勇;楊紅軍;陳明輝;張世洪
• 申請（專利權）人: 廈門建霖健康家居股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 廈門智慧呈睿知識產權代理事務所(普通合伙) 35222
• 代理人: 郭福利

1.一種提升靶材利用率的方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將廢舊靶材加工至所需要尺寸；

(2)將加工后的廢舊靶材套設于特殊材料輔助墊高件的一端；

(3)將所述特殊材料輔助墊高件的另一端連接至靶材座，形成新的真空鍍膜靶材；

(4)對新的真空鍍膜靶材進行導熱性以及導電性測試。

2.一種如權利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步驟(1)中所需要尺寸為與特殊材料輔助墊高件以及新的靶材座相同的尺寸。

3.一種如權利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步驟(2)中特殊材料輔助墊高件所使用的材料為紫銅。

4.一種如權利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步驟(3)中的靶材座的材料為紫銅。

5.一種如權利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述特殊材料輔助墊高件一端形成內部凸臺與廢舊靶材相連接，另一端形成外部凸臺與新的靶材座相連接。

6.一種如權利要求5所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述特殊材料輔助墊高件與廢舊靶材和新的靶材座是通過螺紋連接的。