[發明專利]一種模塊化滑塊裝置及應用其的超精密液體靜壓導軌單元

在審

• 申請號: 202110962359.7
• 申請日: 2021-08-20
• 公開（公告）號: CN113618421A
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 李云飛;朱生根;吳東旭;張舜華;李曉會;宋國偉;范思齊
• 申請（專利權）人: 北京工研精機股份有限公司
• 主分類號: B23Q1/01
• 分類號: B23Q1/01
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 肖莎

本發明涉及一種模塊化滑塊裝置及應用其的超精密液體靜壓導軌單元，模塊化滑塊裝置包括靜壓滑塊和節流器，靜壓滑塊與節流器采用模塊化設計，組合為一體，節流器與靜壓腔匹配設置，每個靜壓腔均匹配有對應的節流器；靜壓滑塊上開設有進油口，進油口與節流器匹配，進油口通過靜壓滑塊內開設的滑塊液體流道與對應的靜壓腔連通，對應的節流器安裝在連通進油口與靜壓腔的滑塊液體流道上；本發明的液體靜壓導軌利用液體靜壓技術支撐運動部件，具備很高的直線度并可精確實現微小進給運動的分辨率，節流器與靜壓滑塊設計為模塊化。通過多路油壓管道為每一個靜壓滑塊提供壓力，并通過靜壓滑塊上的節流器調節靜壓油腔內的壓力及流量。

技術領域

本發明涉及超精密液體靜壓導軌技術領域，更具體的說是涉及一種模塊化滑塊裝置及應用其的超精密液體靜壓導軌單元。

背景技術

目前市場上出售的超精密加工領域運動進給驅動系統主要是空氣靜壓導軌系統，采用液體靜壓技術的靜壓導軌存在運動直線度明顯低于空氣靜壓導軌系統的現狀。超精密氣體靜壓導軌的問題主要是剛度必需在負載波動很小的條件下保證，成為一般的超精密機床制造領域迫切需要解決的問題。目前的液體靜壓導軌單元運動部分的設計缺乏互換性，節流器調節并不能每一組節流器對應一個液壓腔；雙膜片節流器一直以具有極高的剛度、響應能力而被應用于液體靜壓導軌中，但其不便于調整、占用空間大，較少應用于商品化超精密機床中。

因此，如何提供一種模塊化滑塊裝置及應用其的超精密液體靜壓導軌單元是本領域技術人員亟需解決的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種模塊化滑塊裝置及應用其的超精密液體靜壓導軌單元，以至少解決上述背景技術部分所提出的問題之一。

為了實現上述方案，本發明采用以下技術方案：

一種模塊化滑塊裝置，包括靜壓滑塊和節流器，所述靜壓滑塊與所述節流器采用模塊化設計，組合為一體，所述節流器與靜壓腔匹配設置，每個靜壓腔均匹配有對應的所述節流器；所述靜壓滑塊上開設有進油口，所述進油口與所述節流器匹配，所述進油口通過所述靜壓滑塊內開設的滑塊液體流道與對應的所述靜壓腔連通，對應的所述節流器安裝在連通所述進油口與所述靜壓腔的滑塊液體流道上。

優選的，在上述一種模塊化滑塊裝置中，所述節流器為雙膜片節流器，所述雙膜片節流器由安裝在所述靜壓滑塊上的節流器板和薄膜組成，中間通過墊片聯結避免泄油，所述雙膜片節流器通過更換墊片，或者修磨薄膜對所述雙膜片節流器進行調節。

優選的，在上述一種模塊化滑塊裝置中，所述節流器為可調式膜片節流器，所述可調式膜片節流器通過手動調節螺栓調節膜片間隙進而實現對可調式膜片節流器的調節。

優選的，在上述一種模塊化滑塊裝置中，在水平方向使用并作為承載靜壓滑塊模組使用時，靜壓滑塊的頂面設置上靜壓腔，底面設置下靜壓腔。

優選的，在上述一種模塊化滑塊裝置中，作為側向靜壓滑塊模組使用時，靜壓滑塊的兩側分別開設靜壓腔。

一種應用模塊化滑塊裝置的超精密液體靜壓導軌單元，包括導軌、模塊化滑塊裝置、護板、分油塊、靜壓溜板、壓板、直線電機、直線電機安裝板、側蓋板、光柵外罩、光柵系統、讀數頭支架和油塞；模塊化滑塊裝置包括承載靜壓滑塊模組和側向靜壓滑塊模組；

承載靜壓滑塊模組設置有四個，安裝在靜壓溜板的四個角上，側向靜壓滑塊模組設置有兩個，安裝在所述靜壓溜板的中間；壓板安裝在導軌上，其提供的基準面與承載靜壓滑塊模組的上靜壓面接觸以及與側向靜壓滑塊模組的側靜壓面接觸，承載靜壓滑塊模組垂直方向以及側向靜壓滑塊模組兩側形成的液體靜壓支撐與所述導軌和壓板接觸；

分油塊安裝在靜壓溜板側面，通過靜壓溜板內置的多管路為承載靜壓滑塊模組和側向靜壓滑塊模組提供液壓油；導軌兩個側面分別設置左側回油槽和右側回油槽；