[發明專利]一種集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀

在審

• 申請號: 202110961534.0
• 申請日: 2021-08-20
• 公開（公告）號: CN113532407A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 莊須葉;劉靖豪;李平華;張佳寧;張曉陽
• 申請（專利權）人: 山東理工大學
• 主分類號: G01C19/5691
• 分類號: G01C19/5691
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀，其特征于，

它包括一個半球諧振子(2)，在半球諧振子(2)邊緣設有裙邊，底部頂點設有錨桿(2b)；

半球諧振子(2)外表面下方是面內電極(4)，電極呈立體球面排列，包含支撐電極座（4d）、支撐電極（4b）以及功能電極組（4a），其中，支撐電極(4b)個數大于等于2，在一個圓周角內等角間距排列，用于固定諧振子，支撐電極(4b)底部通過支撐電極座(4d)相連，支撐電極座(4d）中央開有一錨點腔(4c），供半球諧振子(2）底部錨桿(2b)插入，從而固定半球諧振子(2)，支撐電極(4b)之間的間隙等距插入功能電極組(4a)，并且每個單電極下方均設有金屬PAD電極(4e)，用于連接導線；

半球諧振子(2)的裙邊與面外電極(1c)在安裝后，兩者間形成電容間隙，面外電極(1c)在頂蓋(1)的下表面呈平面環形排列，頂蓋(1)的邊緣突出，并且在邊緣上等距設有金屬PAD電極(1a)，金屬PAD電極(1a)與面外電極(1c)通過金屬涂層導線(1b)相連，金屬PAD電極通過封底層(6)中與其一一對應的錐型孔(6a)與外部導線相連。

2.根據權利要求1所述的集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀，其特征在于，所述面外電極(4)所包含的支撐電極(4b)和功能電極組(4a)通過密封環(3)進行固定，密封環(3)與面內電極(4)之間還設有應力釋放環(5)，且密封環(3)的俯視圖外圍輪廓恰好在頂蓋(1)突起部分的內緣輪廓之內。

3.根據權利要求1所述的集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀，其特征在于，諧振子(2)裙邊的形狀可以是完全覆蓋面外電極(1c)所在圓環的環形(2a)，也可以是僅覆蓋面外電極(1c)中各電極外輪廓的齒形(2c)。

4.根據權利要求1所述的集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀，其特征在于，面外電極(1c)內部有一同心圓區域設有吸氣劑涂層(1d)。

5.根據權利要求1所述的集成面內和面外兩種電極的微半球陀螺儀，其特征在于，面內電極(4)用來檢測諧振子(2)的殼體在垂直于錨桿軸的平面內的振動變形，面外電極(1c)用來檢測諧振子(2)的裙邊在垂直于錨桿軸的平面外的振動變形。