[發(fā)明專利]電容式壓力傳感器及其制備方法、壓力檢測系統有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110956452.7 | 申請日： | 2021-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN113686467B | 公開（公告）日： | 2023-07-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李揚淵 | 申請（專利權）人： | 成都蕊感微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人： | 劉茂源 |
| 地址： | 610000 四川省成都市自由貿*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 壓力傳感器 及其 制備 方法 壓力 檢測 系統 | ||
1.一種電容式壓力傳感器，其特征在于，包括：
第一電極層；
第二電極層；
第一彈性電介質層，所述第一彈性電介質層位于所述第一電極層與所述第二電極層之間；以及
抗壓延結構，所述抗壓延結構被配置為限制所述第一彈性電介質層受到壓力時在垂直于壓力方向的延展形變；
其中，所述第一彈性電介質層具有第一拉伸模量，所述抗壓延結構具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
2.如權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述抗壓延結構包括第一抗壓延層，所述第一抗壓延層位于所述第一電極層與所述第一彈性電介質層之間，所述第一抗壓延層一面與所述第一電極層粘接，另外一面與所述第一彈性電介質層粘接；和/或者
所述抗壓延結構包括第二抗壓延層，所述第二抗壓延層位于所述第二電極層與所述第一彈性電介質層之間，所述第二抗壓延層一面與所述第二電極層粘接，另外一面與所述第一彈性電介質層粘接。
3.如權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述抗壓延結構包括第一抗壓延層，所述第一抗壓延層與所述第一電極層背離所述第一彈性電介質層的一側粘接；和/或者
所述抗壓延結構包括第二抗壓延層，所述第二抗壓延層與所述第二電極層背離所述第一彈性電介質層的一側粘接。
4.如權利要求2或3任一項所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，還包括第三電極層、第二彈性電介質層以及第三抗壓延層，所述第二彈性電介質層和所述第三抗壓延層設置于所述第二電極層與所述第三電極層之間。
5.如權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述抗壓延結構包括設置于所述第一彈性電介質層內部的抗壓延骨架。
6.如權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述抗壓延結構包括設置于所述第一電極層內的抗壓延骨架；和/或者
所述抗壓延結構包括設置于所述第二電極層內的抗壓延骨架。
7.一種電容式壓力傳感器制備方法，其特征在于，包括：
提供一第一電極層；
提供一第二電極層；
提供一第一彈性電介質層；
提供一抗壓延結構，所述抗壓延結構包括第一抗壓延層；
將所述第一電極層、所述第一彈性電介質層、所述第二電極層以及所述第一抗壓延層堆疊并粘合；
其中，所述第一彈性電介質層具有第一拉伸模量，所述抗壓延結構具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
8.一種電容式壓力傳感器制備方法，其特征在于，包括：
提供一抗壓延結構，所述抗壓延結構包括抗壓延骨架；
基于所述抗壓延骨架，形成包裹所述抗壓延骨架的第一彈性電介質層；
提供一第一電極層；
提供一第二電極層；
將所述第一電極層、所述第一彈性電介質層以及所述第二電極層堆疊并粘合；
其中，所述第一彈性電介質層具有第一拉伸模量，所述抗壓延結構具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
9.一種壓力檢測系統，其特征在于，包括如權利要求1至6任一項所述的電容式壓力傳感器。
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