[發明專利]一種防止堵塞的蒸鍍設備

在審

• 申請號: 202110952637.0
• 申請日: 2021-08-19
• 公開（公告）號: CN113621918A
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 喬元武
• 申請（專利權）人: 山東海耀電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 潘劍敏

本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備，包括冷卻鉗鍋機構、蒸鍍箱機構、防堵機構，設備能夠卡緊基片，設備能夠進行旋轉蒸鍍，設備能夠蒸鍍后關閉閘門然后進行快速冷卻，設備能夠保證真空泵的穩定運轉，所述的冷卻鉗鍋機構與蒸鍍箱機構相連，蒸鍍箱機構與防堵機構相連。

技術領域

本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備。

背景技術

在真空蒸鍍的過程中，傳統的蒸鍍設備存在鉗鍋冷卻慢、蒸鍍容易不均勻、真空泵容易堵塞的問題，這樣會造成蒸鍍之后的效率低下，真空泵容易堵塞的問題，所以設計了一種防止堵塞的蒸鍍設備。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種防止堵塞的蒸鍍設備，設備能夠卡緊基片，設備能夠進行旋轉蒸鍍，設備能夠蒸鍍后關閉閘門然后進行快速冷卻，設備能夠保證真空泵的穩定運轉。

為解決上述技術問題，本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備，包括冷卻鉗鍋機構、蒸鍍箱機構、防堵機構，設備能夠卡緊基片，設備能夠進行旋轉蒸鍍，設備能夠蒸鍍后關閉閘門然后進行快速冷卻，設備能夠保證真空泵的穩定運轉。

所述的冷卻鉗鍋機構與蒸鍍箱機構相連，蒸鍍箱機構與防堵機構相連；

所述的冷卻鉗鍋機構包括循環箱、皮帶、第一皮帶輪、帶軸凸輪、帶桿配合座、第一彈簧、鉗鍋、開合閘門、第二皮帶輪、第一帶軸錐齒輪、第二帶軸錐齒輪、進風口、濾芯、帶軸齒輪、內腔、循環通道、壓出單向閥、壓力變化箱、活塞、吸入單向閥、吸入口、回流管道、帶凸起鉤板、葉輪，循環箱連接在鉗鍋的下方，皮帶與第一皮帶輪摩擦連接，第一皮帶輪與帶軸凸輪相連，帶軸凸輪與帶桿配合座相接觸，第一彈簧套在帶桿配合座的桿上，鉗鍋上轉動連接有兩個帶軸齒輪，帶軸齒輪與開合閘門相連，兩個帶軸齒輪相互嚙合，第二皮帶輪與皮帶摩擦連接，第二皮帶輪與第一帶軸錐齒輪相連，第一帶軸錐齒輪轉動連接在循環箱上，第一帶軸錐齒輪與第二帶軸錐齒輪相嚙合，第二帶軸錐齒輪與循環箱轉動連接，第二帶軸錐齒輪與葉輪相連，進風口設置在循環箱上遠離帶軸凸輪的一側，濾芯卡合在循環箱內，濾芯穿過進風口，內腔設置在鉗鍋內，循環通道設置在鉗鍋內，循環通道一端穿過循環箱與壓力變化箱相連通，循環通道內設有壓出單向閥，循環通道另一端在鉗鍋內經過換向后延伸至循環箱內，循環通道通過回流管道與循環箱內部相連通，壓力變化箱連接在循環箱內部，活塞與壓力變化箱滑動連接，活塞與帶桿配合座相連，帶桿配合座與壓力變化箱滑動連接，帶桿配合座與循環箱滑動連接，吸入單向閥設置在壓力變化箱上的吸入口處，帶凸起鉤板設置在循環箱內，帶凸起鉤板的向下傾斜的末尾處與葉輪中心高度相同。

作為本技術方案的進一步優化，本發明一種防止堵塞的蒸鍍設備所述的蒸鍍箱機構包括基座、第一外接管、帶支腿箱體本體、放料艙門、帶孔軸、帶凸起軸、第二彈簧、電機、電機座、第一伺服電機、帶滑桿平臺、換向齒輪、第一滑動齒條、第二滑動齒條、滑軌、卡座、帶限位頭滑桿、內置彈簧、絲杠，基座與帶支腿箱體本體相連，帶支腿箱體本體上設有第一外接管和放料艙門，帶孔軸轉動連接在帶支腿箱體本體的頂板上，帶凸起軸滑動連接在帶孔軸內，第二彈簧套在帶凸起軸上，帶凸起軸與電機相連，電機與電機座相連，電機座滑動連接在帶滑桿平臺上，帶滑桿平臺設置在帶支腿箱體本體的上端面上，第一伺服電機設置在帶滑桿平臺的上端，第一伺服電機的轉動端與絲杠相連，絲杠轉動連接在帶滑桿平臺上，絲杠與帶支腿箱體本體轉動連接，絲杠與電機座螺紋連接，換向齒輪轉動連接在滑軌上，第一滑動齒條和第二滑動齒條均與換向齒輪相嚙合，滑軌連接在帶凸起軸的下端，兩個卡座對稱滑動連接在滑軌內，第一滑動齒條和第二滑動齒條均與帶限位頭滑桿相連，兩帶限位頭滑桿對稱滑動連接在滑軌上，帶限位頭滑桿與卡座相連，內置彈簧套在帶限位頭滑桿上，內置彈簧兩端分別連接在滑軌內壁和卡座上，鉗鍋與帶支腿箱體本體相連，循環箱與基座相連。