[發(fā)明專利]一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110946042.4
• 申請(qǐng)日: 2021-08-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113663141B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉博文;周宇昊;熊俊彥;馮慧成;常洪龍;張凱;梁澤凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): A61L31/10
• 分類號(hào): A61L31/10;A61L31/06;A61L31/14;A61B5/00;B05D7/24;C23C14/20;C23C14/34;C23C14/58
• 代理公司: 西安凱多思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61290
• 代理人: 劉新瓊

1.一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將軟性神經(jīng)探針的微電極點(diǎn)所在的正面向下，與熱剝離膠帶粘合；

步驟2：按照設(shè)定的蠶絲蛋白溶液濃度、旋涂速度和旋涂次數(shù)，在軟性神經(jīng)探針上方滴涂蠶絲蛋白溶液，并進(jìn)行烘干，在軟性神經(jīng)探針背面形成單面硬化涂層；

步驟3：對(duì)熱剝離膠帶進(jìn)行加熱，熱剝離膠帶失去粘性，與軟性神經(jīng)探針?lè)蛛x，將軟性神經(jīng)探針微電極點(diǎn)所在的正面暴露；

所述軟性神經(jīng)探針通過(guò)在PDMS軟性基底內(nèi)部摻混設(shè)定比例硅油，并浸泡有機(jī)氯仿溶劑進(jìn)行萃取，隨后通過(guò)沉積Parylene-C襯底薄膜、濺射金屬薄膜并圖形化、沉積Parylene-C封裝薄膜、氧等離子體圖形化刻蝕Parylene-C薄膜的步驟，在軟性神經(jīng)探針表面形成微褶皺形貌，增大比表面積，避免由于熱剝離膠帶粘接分離，導(dǎo)致鍍層發(fā)生的脫落。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法，其特征在于，所述軟性神經(jīng)探針以聚二甲基硅氧烷PDMS為軟性基底，在軟性基底上集成用聚對(duì)二甲苯Parylene-C柔性襯底封裝的金屬薄膜構(gòu)成的蛇形導(dǎo)線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法，其特征在于，所述步驟2中在軟性神經(jīng)探針上形成的單面硬化涂層的厚度為30～150微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法，其特征在于，在步驟2中，所述軟性神經(jīng)探針除背面形成單面硬化涂層外，側(cè)壁同時(shí)形成硬化涂層，側(cè)壁的硬化涂層厚度在10～50微米之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軟性神經(jīng)探針的單面硬化涂層制備方法，其特征在于，所述對(duì)熱剝離膠帶進(jìn)行加熱的溫度為120攝氏度。