[發明專利]減小在樣品與電子束工具的吸盤之間的溫差

在審

• 申請號: 202110943067.9
• 申請日: 2021-08-17
• 公開（公告）號: CN114078676A
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: G·G·布朗特文;A·阿布迪
• 申請（專利權）人: 應用材料以色列公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

一種用于減小在樣品與電子束工具的吸盤之間的溫差的方法、非暫態計算機可讀介質和系統。所述方法可以包括：確定位于電子束工具的裝載端口處的樣品的目標溫度；將位于裝載端口處的樣品的溫度設定為目標溫度；將樣品從裝載端口移動到吸盤，所述吸盤位于真空腔室內，樣品屬于多個樣品；以及將樣品定位在吸盤上，其中當樣品被定位在吸盤上時，樣品的溫度實質上等于吸盤的溫度。

交叉引用

本申請要求在2020年8月17日申請的美國申請第16/995,058號的優先權。該申請的公開內容通過引用以其全部并入本文中用于所有目的。

背景技術

掃描電子顯微鏡是用于評估諸如半導體晶片之類的樣品的高分辨率工具。

存在不同類型的掃描電子顯微鏡，包括用于檢查可疑的缺陷的檢查掃描電子顯微鏡，以及用于測量樣品的微觀結構的臨界尺寸的臨界尺寸掃描電子顯微鏡。

在每個掃描電子顯微鏡中，將樣品定位在掃描電子顯微鏡的真空腔室內的同時對樣品進行評估。

樣品由吸盤支撐。吸盤由機械臺移動。機械臺包括引擎以及可在移動期間加熱的其他部件，從而加熱吸盤。

掃描電子顯微鏡應表現出納米級分辨率。通過用具有極小橫截面的電子束掃描樣品區域來獲得此納米級分辨率。可以掃描樣品的多個區域，通常是一個區域接另一個區域地掃描。

樣品的區域預期包括感興趣的納米級特征。例如，感興趣的納米級特征可能遭受可疑缺陷。另外地或替代地，感興趣的納米級特征可以是應被測量的特征。

在掃描區域之前，機械臺可以移動樣品，使得區域位于電子束的視野內。

電子束的定位應該非常精確以便掃描感興趣的納米級特征。

歸因于吸盤的加熱，在吸盤與樣品之間可能存在顯著溫差，使得當樣品定位在吸盤上時，樣品可能略微變形。

樣品的變形可能引入不可容忍的位置誤差。

越來越需要有效地減小吸盤與樣品之間的顯著溫差。

發明內容

可以提供用于減小吸盤與樣品之間的溫差的方法、非暫態計算機可讀介質和檢測系統。

附圖說明

在本說明書的結束部分尤其指出和清楚地要求保護被視為本公開內容的實施例的主題。然而，當結合附圖解讀時，通過參考下列詳細說明，可以最佳地理解本公開內容的關于組織和操作方法的實施例以及對象、特征和其優點，其中：

圖1示出了方法的示例；

圖2示出了電子束系統的示例；以及

圖3示出了電子束系統的示例。

具體實施方式

在以下詳細說明中，闡明許多特定細節以便提供對本公開內容的實施例的透徹理解。

然而，本領域技術人員應理解，可以在不存在這些特定細節的情況下實踐本公開內容的本實施例。在其他情況下，并未詳述所熟知的方法、程序和部件以免模糊本公開內容的本實施例。

在本說明書的結束部分尤其指出和清楚地要求保護被視為本公開內容的實施例的主題。然而，當結合附圖解讀時，通過參考下列詳細說明，可以最佳地理解本公開內容的關于組織和操作方法的實施例以及對象、特征和其優點。

應了解，出于說明的簡單和清晰的目的，附圖中所示的元件未必按比例繪制。例如，為了清晰，一些元件的尺寸可能相對于其他元件被放大。此外，在認為適當時，附圖標記可以在附圖之間重復以指示對應或相似的元件。