[發明專利]掃描探針顯微鏡系統在審
| 申請號： | 202110942200.9 | 申請日： | 2021-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN113552390A | 公開（公告）日： | 2021-10-26 |
| 發明（設計）人： | 肖章武;趙亮兵;盧孔林;羅永震 | 申請（專利權）人： | 廣州中源儀器技術有限公司 |
| 主分類號： | G01Q60/00 | 分類號： | G01Q60/00;G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 景懷宇 |
| 地址： | 511458 廣東省廣州市南沙區豐澤東路106號*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 探針 顯微鏡 系統 | ||
1.一種掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，包括：
主機探頭，包括探針架安裝位；
探針架，被配置為安裝于所述探針架安裝位；
音叉型傳感探針，所述音叉型傳感探針的針尖與所述音叉型傳感探針的音叉垂直，所述音叉型傳感探針被配置為安裝于所述探針架時，所述主機探頭與所述音叉型傳感探針之間具有一個容置區；
主機底座，被配置為支撐所述主機探頭，并與所述主機探頭信號連接；
測控裝置，與所述主機底座信號連接；以及
光學顯微鏡系統，工作時，所述光學顯微鏡系統部分置于所述容置區，所述光學顯微鏡系統與所述測控裝置信號連接。
2.根據權利要求1所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述探針架為扁平狀，以使得工作距離大于或等于設定距離的所述光學顯微鏡系統在所述容置區內進行工作。
3.根據權利要求2所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述探針架的數量為多個，每一個所述探針架被配置為安裝一個所述音叉型傳感探針，所述探針架可拆卸的安裝于所述探針架安裝位。
4.根據權利要求3所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述多個探針架通過插入的方式的安裝于所述探針架安裝位。
5.根據權利要求4所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述多個探針架中的任意一個探針架安裝于所述探針架安裝位時，其上的音叉型傳感探針的針尖相對于所述探針架安裝位的位置不變。
6.根據權利要求1所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述光學顯微鏡系統包括：
光譜儀，與所述測控裝置信號連接；以及
聯用光學系統，工作時，所述聯用光學系統部分置于所述容置區，所述光譜儀的光路通過所述聯用光學系統實現傳送并聚焦于待測樣品的設定位置。
7.根據權利要求6所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述聯用光學系統包括：
光路組件，所述光路組件部分置于所述容置區，所述光譜儀的光路通過所述光路組件實現傳送并聚焦于所述待測樣品的設定位置；
三維調節組件，與所述光路組件機械連接，用于調整所述光路組件的位置；以及
支撐平臺，被配置為支撐所述三維調節組件。
8.根據權利要求7所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述支撐平臺設置于所述主機底座上。
9.根據權利要求7所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述光路組件包括鏡筒、轉角鏡和物鏡，所傳送的光線經所述鏡筒、所述轉角鏡和所述物鏡聚焦于所述待測樣品的設定位置。
10.根據權利要求6所述的掃描探針顯微鏡系統，其特征在于，所述光學顯微鏡系統還包括：
輔助光路調節系統，設置于所述光譜儀與所述聯用光學系統之間。
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