[發明專利]鐵電電容器、鐵電場效應晶體管及在形成包含導電材料與鐵電材料的電子組件時使用的方法

在審

• 申請號: 202110941803.7
• 申請日: 2016-11-21
• 公開（公告）號: CN113644194A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: A·A·恰范;D·V·N·拉馬斯瓦米;M·納哈爾
• 申請（專利權）人: 美光科技公司
• 主分類號: H01L49/02
• 分類號: H01L49/02;H01L29/78;H01L27/11507;H01L27/1159
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 王龍

1.一種鐵電電容器，其包括：

兩個導電電容器電極，所述兩個導電電容器電極在其之間具有鐵電材料；以及

在襯底上包含不同組合物非鐵電金屬氧化物的復合堆疊；所述不同組合物非鐵電金屬氧化物是從以下各項當中選出：TiO_x、AlO_x、Al₂O₃、ScO_x、Sc₂O₃、ZrO_x、YO_x、Y₂O₃、MgO_x、MgO、HfO_x、SrO_x、SrO、Ta_xO_y、NbO_x、GdO_x、MoO_x、RuO_x、LaO_x、V_xO_y、IrO_x、CrO_x、ZnO_x、PrO_x、CeO_x、SmO_x及LuO_x。

2.根據權利要求1所述的鐵電電容器，其中所述復合堆疊另外包含SiO₂。

3.一種鐵電電容器，其包括：

兩個導電電容器電極，所述兩個導電電容器電極在其之間具有鐵電金屬氧化物材料，所述鐵電金屬氧化物材料包括由下列各項所組成的群組中的一或多個成員：過渡金屬氧化物、鋯、氧化鋯、鉿、氧化鉿、鈦酸鋯鉛、氧化鉭、氧化鍶、氧化鍶鈦、氧化鈦及鈦酸鋇鍶，且可在其中具有包含硅、鋁、鑭、釔、鉺、鈣、鎂、鍶、镥、鏑、釓、鐠、鉻、鈮、鉭、鉿、鋯、釩錳、鈷、鎳、碳及任何其它稀土元素中的一或多者的摻雜劑；以及

所述導電電容器電極中的至少一者和所述鐵電金屬氧化物材料之間的非鐵電材料，所述非鐵電材料包括復合堆疊，所述復合堆疊包括至少兩種不同非鐵電金屬氧化物組合物，所述至少兩種不同非鐵電金屬氧化物組合物從由下列各項所組成的群組中選出:TiO_x、AlO_x、Al₂O₃、ScO_x、Sc₂O₃、ZrO_x、YO_x、Y₂O₃、MgO_x、MgO、HfO_x、SrO_x、SrO、Ta_xO_y、NbO_x、GdO_x、MoO_x、RuO_x、LaO_x、V_xO_y、IrO_x、CrO_x、ZnO_x、PrO_x、CeO_x、SmO_x及LuO_x，所述非鐵電材料具有比所述非鐵電材料較接近的所述導電電容器電極更低的總體導電率。

4.根據權利要求3所述的鐵電電容器，其中所述電容器電極的每一者獨立地包含從由下列各項所組成的群組中選出的一或多種材料：IrO_x、SrRuO₃、RuO_x、LSCO、TiSi_x、TaSi_x、RuSi_x、WN_xSi_y、Ru、TiAlN、TaN、WN_x、TiSi_xN_y、TaSi_xN_y、RuSi_xN_y及RuSi_xTi_yN_z。