[發明專利]在片S參數測量系統串擾誤差修正方法及電子設備

在審

• 申請號: 202110938374.8
• 申請日: 2021-08-16
• 公開（公告）號: CN113849958A
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 王一幫;吳愛華;徐森鋒;霍曄;梁法國;欒鵬;劉晨;李彥麗;孫靜
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G06F30/20
• 分類號: G06F30/20
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 付曉娣

本發明提供一種在片S參數測量系統串擾誤差修正方法及電子設備。該方法包括：對串擾校準件仿真，得到串擾S參數；采用在片S參數測量系統測量串擾校準件，得到并聯S參數；并聯S參數包括串擾誤差；根據串擾S參數、并聯S參數以及Y參數與S參數的轉換關系，確定在片S參數測量系統的串擾誤差，并根據串擾誤差對在片S參數系統進行修正。本發明能夠提高在片S參數測量系統的可靠性。

技術領域

本發明涉及在片S參數校準技術領域，尤其涉及一種在片S參數測量系統串擾誤差修正方法及電子設備。

背景技術

在片S參數測量系統一般應用在微電子行業中，在該測量系統每次使用前，需要選取合適的校準方法對該測量系統進行校準，并對校準后的在片S參數測量系統進行串擾誤差修正，以使測量結果更準確。其中，在片校準方法主要包括SOLT(Short-Open-Load-Thru)校準方法、LRM(Line-Reflect-Match)校準方法、LRRM(Line-Reflect-Reflect-Match)校準方法和TRL(Thru-Reflect-Line)校準方法等。

隨著在片測試頻率的升高，一些在低頻段可以忽略的系統誤差逐漸增大，尤其是串擾誤差會越來越大，進而導致測量結果不準確。現有技術通過16-term誤差模型校準方法對在片S參數測量系統進行串擾誤差修正，它們對測試系統之間的串擾誤差進行了較好的表征。

然而，16-term項誤差模型校準方法需要至少5個已知定值的校準件，且校準件結構復雜。即采用16-term項誤差模型進行串擾修正需要的校準件多、過程復雜、耗時長。

發明內容

本發明實施例提供了一種在片S參數測量系統串擾誤差修正方法及電子設備，以解決現有技術采用16-term項誤差模型進行串擾修正耗時長的問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種在片S參數測量系統串擾誤差修正方法，包括：

對串擾校準件仿真，得到串擾S參數；采用在片S參數測量系統測量串擾校準件，得到并聯S參數；并聯S參數包括串擾誤差；

根據串擾S參數、并聯S參數以及Y參數與S參數的轉換關系，確定在片S參數測量系統的串擾誤差，并根據串擾誤差對在片S參數系統進行修正。

在一種可能的實現方式中，根據串擾S參數、并聯S參數以及Y參數與S參數的轉換關系，確定在片S參數測量系統的串擾誤差，包括：

利用Y參數與S參數的轉換關系將串擾S參數轉換為串擾Y參數；

利用Y參數與S參數的轉換關系將并聯S參數轉換為并聯Y參數；

根據串擾Y參數和并聯Y參數確定校準后的在片S參數測量系統的串擾誤差。

在一種可能的實現方式中，對串擾校準件仿真，得到串擾S參數，包括：串擾校準件為預設數量；

對串擾校準件仿真，得到串擾S參數，包括：

分別對預設數量的串擾校準件進行仿真，得到對應串擾校準件的串擾S參數；

采用在片S參數測量系統測量串擾校準件，得到并聯S參數，包括：

采用在片S參數測量系統分別測量預設數量的串擾校準件，得到對應串擾校準件的并聯S參數。

在一種可能的實現方式中，在得到對應串擾校準件的串擾S參數和得到對應串擾校準件的并聯S參數后，該方法還包括：

針對每一個串擾校準件，根據該串擾校準件的串擾S參數、該串擾校準件的并聯S參數以及Y參數與S參數的轉換關系，確定該串擾校準件對應的串擾誤差；

求取各個的串擾校準件對應的串擾誤差的平均串擾誤差，作為在片S參數測量系統的串擾誤差，并根據串擾誤差對在片S參數系統進行修正。