[發(fā)明專利]一種銅靶材及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110931619.4
• 申請日: 2021-08-13
• 公開（公告）號: CN113649509A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;章麗娜;羅明浩
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B21J5/08
• 分類號: B21J5/08;B21C1/16;B21J5/06;B23P15/00;C23C14/35;C21D9/00;C22F1/08
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種銅靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括依次進(jìn)行的切料、第一鍛伸、第一熱處理、第二鍛伸、第二熱處理、冷鍛、第三熱處理、壓制、第四熱處理與拋光；

所述第一熱處理與第二熱處理的溫度分別為290-310℃；

所述第三熱處理與第四熱處理的溫度分別為250-270℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述切料得到第一圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第一圓柱體銅靶坯的直徑為170-180mm；

優(yōu)選地，所述第一圓柱體銅靶坯的長度為190-210mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述第一鍛伸包括依次進(jìn)行的預(yù)熱、鍛打、水冷、墩粗與拉拔，其中的墩粗與拉拔交替重復(fù)進(jìn)行至少3次；

優(yōu)選地，所述預(yù)熱的溫度為890-910℃；

優(yōu)選地，所述鍛打得到正方體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述正方體銅靶坯的邊長為145-155mm；

優(yōu)選地，所述墩粗至銅靶坯長度為100-120mm；

優(yōu)選地，所述拉拔至銅靶坯長度為210-230mm；

優(yōu)選地，所述第二鍛伸包括依次進(jìn)行第二前鍛伸與第二后鍛伸；

優(yōu)選地，所述第二前鍛伸與第一鍛伸的條件一致；

優(yōu)選地，所述第二后鍛伸得到第二圓柱體銅靶坯，并進(jìn)行水冷；

優(yōu)選地，所述第二圓柱體銅靶坯的長度為220-230mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第一熱處理與第二熱處理的時間分別為25-35min；

優(yōu)選地，所述第一熱處理與第二熱處理分別以水冷的方式進(jìn)行冷卻。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的制備方法，其特征在于，所述冷鍛包括依次進(jìn)行的冷鍛墩粗與冷鍛拉拔；

優(yōu)選地，所述冷鍛墩粗在萬噸油壓機中進(jìn)行，得到第三圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第三圓柱體銅靶坯的長度為100-110mm；

優(yōu)選地，所述冷鍛拉拔在萬噸油壓機中進(jìn)行，得到第四圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第四圓柱體銅靶坯的長度為220-230mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第三熱處理與第四熱處理的時間分別為25-35min；

優(yōu)選地，所述第三熱處理與第四熱處理分別以水冷的方式進(jìn)行冷卻。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的制備方法，其特征在于，所述壓制包括依次進(jìn)行的切除、靜壓與壓延；

優(yōu)選地，所述切除具體為切除第四圓柱體銅靶坯兩端開裂的料頭，得到第五圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第五圓柱體銅靶坯的長度為190-210mm；

優(yōu)選地，所述靜壓在油壓機中進(jìn)行，得到第六圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第六圓柱體銅靶坯的長度為110-120mm；

優(yōu)選地，所述壓延在壓延機中進(jìn)行，得到第七圓柱體銅靶坯；

優(yōu)選地，所述第七圓柱體銅靶坯的長度為20-22mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的制備方法，其特征在于，所述拋光與第四熱處理之間還包括校平；

優(yōu)選地，所述校平后銅靶材的平面度≤1mm；

優(yōu)選地，所述拋光后銅靶材的粗糙度≤1.6μm；

優(yōu)選地，所述拋光之后還包括依次進(jìn)行的清洗、干燥與包裝；

優(yōu)選地，所述清洗包括超聲清洗；

優(yōu)選地，所述超聲清洗采用的清洗液包括異丙醇；

優(yōu)選地，所述干燥包括真空干燥；

優(yōu)選地，所述真空干燥的真空度≤0.01Pa；

優(yōu)選地，所述包裝包括真空包裝。