[發明專利]一種太陽能電池激光清邊方法及裝置在審
| 申請號: | 202110930225.7 | 申請日: | 2021-08-13 |
| 公開(公告)號: | CN113649701A | 公開(公告)日: | 2021-11-16 |
| 發明(設計)人: | 汪玉樹;胡瑩 | 申請(專利權)人: | 蘇州邁為科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/36 | 分類號: | B23K26/36;B23K26/38;H01L51/48 |
| 代理公司: | 江蘇瑞途律師事務所 32346 | 代理人: | 韋超峰;白曉宇 |
| 地址: | 215200 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 激光 方法 裝置 | ||
1.一種太陽能電池激光清邊方法,其特征在于,包括:
執行第一照射操作,利用第一激光沿預設輪廓方向對電池的薄膜層進行劃線分割,將薄膜層劃分為有效區域和無效區域;
執行第二照射操作,利用第二激光,去除無效區域中的薄膜層。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,第一照射操作執行完畢后,執行第二照射操作。
3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一激光的功率小于第二激光的功率。
4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,第一激光的使用功率范圍為1W~50W,第二激光的使用功率范圍為50W~1000W。
5.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一激光的波段和第二激光的波段范圍均為300nm-2000nm。
6.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,執行第一照射操作時,第一激光直接照射在薄膜層上;執行第二照射操作時,第二激光透過電池的玻璃基板照射在薄膜層上。
7.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,執行第一照射操作時,第一激光直接照射在薄膜層上;執行第二照射操作時,第二激光直接照射在薄膜層上。
8.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,執行第一照射操作時,第一激光透過玻璃基板照射到薄膜層上;執行第二照射操作時,第二激光透過玻璃基板照射到薄膜層上。
9.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,執行第一照射操作時,第一激光透過玻璃基板照射在薄膜層;執行第二照射操作時,第二激光直接照射在薄膜層上。
10.根據權利要求1-9任一項所述的方法,其特征在于,執行第一照射操作時,利用第一激光沿預設輪廓方向對薄膜層進行多次劃線,多次劃線疊加形成沿預設輪廓方向法向具有一定寬度的劃線區,所述劃線區將薄膜層分割為有效區域和無效區域。
11.根據權利要求10所述的方法,其特征在于,利用所述第一激光沿預設輪廓方向對薄膜層進行多次劃線時,當劃線一次完成后,第一激光沿預設輪廓方向的法向移動一個單位,進行下一次劃線,相鄰兩次所劃出的線重疊0~95%。
12.根據權利要求11所述的方法,其特征在于,相鄰兩次所劃出的線重疊30%~60%。
13.根據權利要求10所述的方法,其特征在于,執行第二照射操作時,利用第二激光沿預設輪廓方向的法向對薄膜層進行多次線性掃描,去除無效區域內的薄膜層。
14.根據權利要求13所述的方法,其特征在于,第二激光沿預設輪廓方向的法向對薄膜層進行多次線性掃描時,當一次線性掃描完成后,第二激光的光斑沿預設輪廓的切向移動一個第二單位,進行下一次線性掃描,相鄰線性掃描線重疊0~95%。
15.根據權利要求14所述的方法,其特征在于,相鄰線性掃描線重疊30%~70%。
16.根據權利要求15所述的方法,其特征在于,執行第二照射操作時,第二激光在進行多次線性掃描疊加形成的區域與所述劃線區重疊,重疊的寬度為劃線區沿預設輪廓的法向寬度的0~95%。
17.根據權利要求16所述的方法,其特征在于,所述第一激光垂直玻璃基板照射到薄膜層;所述第二激光光束垂直或傾斜玻璃基板照射薄膜層。
18.根據權利要求17所述的方法,其特征在于,所述方法還包括:進行第一照射操作和第二照射操作的同時,進行吸塵操作。
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