[發(fā)明專利]一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備及其加工方法

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• 申請日: 2021-08-12
• 公開（公告）號: CN113370025A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓穎超;裴翔鷹;李長蘇
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/06;B24B47/06
• 代理公司: 杭州信與義專利代理有限公司 33450
• 代理人: 馬育妙

1.一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，包括加工室（101）、放置室（102）以及儲灰室（103），所述放置室（102）的一側(cè)設(shè)置有儲灰室（103），所述放置室（102）、儲灰室（103）的頂部安裝有加工室（101），其特征在于：

所述加工室（101）的內(nèi)腔兩端分別安裝有第一放置架（109）、第二放置架（110），所述加工室（101）的內(nèi)腔中部安裝有用于夾持硅環(huán)的夾持機構(gòu)（200）、用于調(diào)節(jié)打磨軸（308）的調(diào)節(jié)機構(gòu)（300）以及打磨軸（308），所述夾持機構(gòu)（200）、調(diào)節(jié)機構(gòu)（300）位于第一放置架（109）、第二放置架（110）之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述夾持機構(gòu)（200）包括承重底座（201）、安裝筒（202）、夾持爪（206）以及旋轉(zhuǎn)體（209），所述承重底座（201）的頂部安裝有安裝筒（202），所述安裝筒（202）的內(nèi)腔設(shè)置有旋轉(zhuǎn)體（209），所述旋轉(zhuǎn)體（209）的頂部開設(shè)有安裝槽（214），所述安裝槽（214）的內(nèi)腔中設(shè)置有連接臂（205），所述連接臂（205）的頂端安裝有夾持爪（206），所述夾持爪（206）的兩側(cè)均開設(shè)有定位槽（207）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述安裝筒（202）的一側(cè)安裝有第一打磨電機（204），所述旋轉(zhuǎn)體（209）的外壁上安裝有連接齒（211），所述連接齒（211）嚙合連接驅(qū)動齒輪（212），所述驅(qū)動齒輪（212）套接在第一打磨電機（204）的輸出軸上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述承重底座（201）的內(nèi)腔底部轉(zhuǎn)動安裝有若干個調(diào)節(jié)氣缸（208），若干個所述調(diào)節(jié)氣缸（208）的活動桿均轉(zhuǎn)動連接至安裝筒（202）的底部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)機構(gòu)（300）包括移動底座（301）、支撐立板（302），所述移動底座（301）的頂部一側(cè)安裝有支撐立板（302），所述支撐立板（302）的一側(cè)上設(shè)置有安裝座（306），所述安裝座（306）的頂部安裝有第二打磨電機（307），所述打磨軸（308）安裝在安裝座（306）的底部，所述打磨軸（308）的頂端連接至第二打磨電機（307）的輸出軸上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述支撐立板（302）的一側(cè)頂部安裝有升降電機（309），所述支撐立板（302）的內(nèi)腔頂部、底部均轉(zhuǎn)動安裝有傳動輥（311），其中一個傳動輥（311）的一端與升降電機（309）的輸出軸連接，兩個所述傳動輥（311）通過傳送帶（310）連接，所述傳送帶（310）上安裝有夾持板（312），所述夾持板（312）連接至安裝座（306）的一端上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備，其特征在于，所述移動底座（301）滑動連接在軌道（303）上，所述軌道（303）的中間位置平行設(shè)置有齒形板（304），所述移動底座（301）的一端上安裝有移動電機（313），所述移動底座（301）的底部中間位置轉(zhuǎn)動安裝有齒形輥（314），所述齒形輥（314）與齒形板（304）嚙合連接，所述齒形輥（314）的一端連接至移動電機（313）的輸出軸上。

8.一種如權(quán)利要求1所述的硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：控制硅環(huán)表面高精傾斜度的加工設(shè)備中的若干個連接臂（205）相互遠離或者相互靠近，之后將硅環(huán)放置于夾持爪（206）之間，從而通過夾持爪（206）的內(nèi)圈定位槽（207）將硅環(huán)夾持；

步驟二：通過齒形輥（314）轉(zhuǎn)動，從而帶動移動底座（301）在軌道（303）上滑動，直至打磨軸（308）位于硅環(huán)的正上方；

步驟三：通過傳動輥（311）轉(zhuǎn)動，從而通過傳送帶（310）和夾持板（312）帶動安裝座（306）在滑軌（305）上滑動；

步驟四：按照硅環(huán)表面傾斜度加工的要求，使安裝筒（202）傾斜；

步驟五：通過驅(qū)動齒輪（212）轉(zhuǎn)動，從而帶動旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)硅環(huán)轉(zhuǎn)動，通過打磨軸（308）轉(zhuǎn)動，通過移動電機（313）調(diào)節(jié)打磨軸（308）位置，使打磨軸（308）與硅環(huán)接觸，轉(zhuǎn)動的硅環(huán)與轉(zhuǎn)動的打磨軸（308）相互摩擦，打磨形成傾斜面，完成硅環(huán)內(nèi)圈打磨；

步驟六：通過夾持爪（206）的外圈定位槽（207）將硅環(huán)夾持，重復(fù)以上步驟，完成硅環(huán)外圈打磨，完成一面硅環(huán)表面傾斜度加工，將硅環(huán)翻面，重復(fù)上述步驟，在另一側(cè)面打磨形成傾斜面，完成硅環(huán)加工。