[發明專利]一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構

在審

• 申請號: 202110925383.3
• 申請日: 2021-08-12
• 公開（公告）號: CN113531985A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 孫巍泉;楊陸晗;朱琳;張磊
• 申請（專利權）人: 普樂（合肥）光技術有限公司
• 主分類號: F25D11/00
• 分類號: F25D11/00;F25D23/00;F25D23/06
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構，包括超低溫真空冷凍腔體和底板，底板設于腔體下側敞口處，底板上設有兩個通孔，底板上側對應每個通孔處均設有環形凹槽，環形凹槽的底部和底板下側均設有交替布置的第一環形槽，底板下側對應通孔處設有安裝法蘭，安裝法蘭的上側、下側均設有若干交替布置的第二環形槽，安裝法蘭中心處設有混合制冷工質管道，混合制冷工質管道上端穿過通孔進入超低溫真空冷凍腔內，混合制冷工質管道下端超出安裝法蘭，混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔罩體、底板均呈非接觸狀態。其避免了混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔的外壁直接接觸，防止超低溫真空冷凍腔的外壁結霜，也減少了冷量損失。

技術領域

本發明涉及一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構。

背景技術

集成電路芯片制做工藝中的離子注入工序，有時需要在超低溫下進行，這就需要在離子注入機上配備超低溫真空冷凍腔來達到超低溫離子注入的目的。超低溫真空冷凍腔包括超低溫真空冷凍腔罩體和水平布置的底板，超低溫真空冷凍腔內設有一進一出兩個混合制冷工質管道，超低溫真空冷凍腔使用時要抽真空，而由于混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔的外壁溫差有150℃，將混合制冷工質管道直接連接于超低溫真空冷凍腔的外壁上，會造成大量的冷量損失以及超低溫真空冷凍腔壁結霜。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構，其避免了混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔的外壁直接接觸，防止超低溫真空冷凍腔的外壁結霜，也減少了冷量損失。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構，包括超低溫真空冷凍腔體和水平布置的底板，底板設于超低溫真空冷凍腔體下側敞口處并與其配合，底板上設有兩個用于安裝混合制冷工質管道的通孔，底板上側位置上對應每個通孔處均設有環繞通孔周向布置的環形凹槽，環形凹槽的底部和底板下側均設有同軸布置的若干第一環形槽，環形凹槽的底部和底板下側的第一環形槽沿通孔徑向交替布置，底板下側位置上對應通孔處設有水平布置的安裝法蘭，安裝法蘭與通孔同軸布置，安裝法蘭的上側、下側均設有若干與安裝法蘭同軸布置的第二環形槽，位于安裝法蘭上側、下側的第二環形槽沿安裝法蘭徑向交替布置，位于底板下側的第一環形槽與位于法蘭上側的第二環形槽沿安裝法蘭徑向也呈交替布置，安裝法蘭中心處設有同軸布置且豎直走向的混合制冷工質管道，混合制冷工質管道上端穿過通孔進入超低溫真空冷凍腔內，混合制冷工質管道下端超出安裝法蘭，混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔罩體、底板均呈非接觸狀態。

為簡單說明問題起見，以下對本發明所述的一種用于減少超低溫真空冷凍腔冷量損耗的結構均簡稱為本結構。

本結構的優點：采用本結構，避免了混合制冷工質管道與超低溫真空冷凍腔的外壁直接接觸，而且由于超低溫真空冷凍腔內使用時是抽真空的，底板與混合制冷工質管道之間沒有了空氣作為導熱介質，隔熱效果更好，防止超低溫真空冷凍腔的外壁結霜，也減少了冷量損失。另外底板上的環形凹槽、第一環形槽以及安裝法蘭上的第二環形槽都起到了降低導熱材質截面積和降低導熱效果的作用，從而進一步降低冷損耗。

為達到本結構更好的使用效果，其優選方案如下：

作為優選的，所述的安裝法蘭與底板之間通過螺栓緊固連接。

通過螺栓連接可以方便拆卸、維修和對易損件更換。

作為優選的，所述的安裝法蘭上側位置上靠近周向邊緣處嵌裝有周向布置的密封圈。

密封圈可以防止外部空氣從安裝法蘭與底板之間的縫隙中進入超低溫真空冷凍腔內，保證超低溫真空冷凍腔內的真空度，使本結構具有更好的隔熱效果，進一步降低冷量損耗。

附圖說明

圖1是本結構的結構示意圖。

具體實施方式

參見圖1(圖1中僅示出一個通孔及其對應的波紋管、混合制冷工質管道。)