[發明專利]一種帶有切削液回收功能的硅片切割機

在審

• 申請號: 202110913227.5
• 申請日: 2021-08-10
• 公開（公告）號: CN113752400A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 張耀;黃慧媛;齊申;屈恒
• 申請（專利權）人: 江蘇天晶智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 蘇州拓云知識產權代理事務所(普通合伙) 32344
• 代理人: 王云峰

1.一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：包括用于收集切削液的導流板(1)，導流板(1)一側設有導流槽(2)，導流槽(2)的出口端設有用于切削液回收的初級過濾機構，初級過濾機構用于過濾掉切削液中的顆粒狀雜物，初級過濾機構的下方設有切削液回收的次級過濾機構，次級過濾機構用于過濾掉切削液粉末狀雜物且初級過濾機構與次級過濾機構之間通過快拆機構連接。

2.根據權利要求1所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述初級過濾機構包括一號電機(3)、塔筒(4)和螺旋葉(5)；所述塔筒(4)的下端通過快拆機構連接于次級過濾機構連接塔筒(4)，塔筒(4)的上端通過U形架固接一號電機(3)，一號電機(3)的輸出端固接螺旋葉(5)，螺旋葉(5)的邊緣緊密配合與塔筒(4)的內側壁，螺旋葉(5)上開設多個溢流孔(6)，且溢流孔(6)按照從上到下的順序，溢流孔(6)的直徑逐漸縮小。

3.根據權利要求1所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述次級過濾機構包括箱體(7)、二號電機(8)、輸送帶(9)、收集箱(10)和排液管(11)；所述箱體(7)的端面開設通孔(12)，通孔(12)與塔筒(4)同軸連通，通孔(12)的下方為輸送帶(9)，輸送帶(9)為表面多蜂窩孔的帶體，且蜂窩孔的孔徑小于螺旋葉(5)下端溢流孔(6)的直徑，輸送帶(9)由箱體(7)外側的二號電機(8)驅動，輸送帶(9)的首端下方為排液管(11)，排液管(11)連通于輸送帶(9)下方的集料槽，輸送帶(9)的末端下方為收集箱(10)。

4.根據權利要求1所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述快拆機構包括拉簧(13)、固定銷(14)、連接板(15)和彈簧(16)，箱體(7)的上板面對稱開設滑槽(17)，滑槽(17)內側開設定位孔(18)，定位孔(18)與連接板(15)上開設的固定孔(19)內嵌有固定銷(14)，固定銷(14)的端部通過拉簧(13)連接在連接板(15)上。

5.根據權利要求3所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述塔筒(4)的上端外圈對稱設有固定塊(20)，固定塊(20)上開設卡槽，U形架的端部內嵌在卡槽內。

6.根據權利要求4所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：相鄰兩個所述固定銷(14)之間設有提拉板(21)，提拉板(21)的端部固接于固定銷(14)的端部。

7.根據權利要求3所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述集料槽呈斜坡狀，收集槽的低洼處于排液管(11)連通。

8.根據權利要求3所述一種帶有切削液回收功能的硅片切割機，其特征在于：所述螺旋葉(5)的轉軸下端通過支撐桿(22)架設在塔筒(4)下端內側壁上，且螺旋葉(5)的轉軸轉動連接于支撐桿(22)。