[發(fā)明專(zhuān)利]敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)及具有其的振梁加速度計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110913158.8
• 申請(qǐng)日: 2021-08-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113791241B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉智;孫剛;丁凱;蘇翼;楊亞杰;李陳征
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京自動(dòng)化控制設(shè)備研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01P15/097
• 分類(lèi)號(hào): G01P15/097
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)包括：

應(yīng)力消除主體單元(10)，所述應(yīng)力消除主體單元(10)具有振梁阻尼腔(10a)和擺撓性支撐阻尼腔(10b)，所述振梁阻尼腔(10a)與所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)呈夾角設(shè)置，所述振梁阻尼腔(10a)用于容納設(shè)置振梁叉指組件，所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)用于容納設(shè)置擺撓性支撐組件；

第一應(yīng)力釋放外環(huán)(20)和第二應(yīng)力釋放外環(huán)(30)，所述第一應(yīng)力釋放外環(huán)(20)和所述第二應(yīng)力釋放外環(huán)(30)均設(shè)置在所述應(yīng)力消除主體單元(10)的周緣，所述第一應(yīng)力釋放外環(huán)(20)與所述第二應(yīng)力釋放外環(huán)(30)間隔設(shè)置，所述第一應(yīng)力釋放外環(huán)(20)和所述第二應(yīng)力釋放外環(huán)(30)之間形成應(yīng)力釋放腔；所述振梁阻尼腔(10a)包括第一振梁阻尼腔單元(101a)和第二振梁阻尼腔單元(102a)，所述振梁叉指組件包括第一振梁叉指和第二振梁叉指，所述第一振梁阻尼腔單元(101a)和所述第二振梁阻尼腔單元(102a)相對(duì)于所述應(yīng)力消除主體單元(10)的中心軸線對(duì)稱(chēng)設(shè)置，所述第一振梁阻尼腔單元(101a)用于容納設(shè)置第一振梁叉指，所述第二振梁阻尼腔單元(102a)用于容納設(shè)置第二振梁叉指；所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)包括第一擺撓性支撐阻尼腔單元(101b)和第二擺撓性支撐阻尼腔單元(102b)，所述擺撓性支撐組件包括第一擺撓性支撐和第二擺撓性支撐，所述第一擺撓性支撐阻尼腔單元(101b)和所述第二擺撓性支撐阻尼腔單元(102b)相對(duì)于所述應(yīng)力消除主體單元(10)的中心軸線對(duì)稱(chēng)設(shè)置，所述第一擺撓性支撐阻尼腔單元(101b)用于容納設(shè)置第一擺撓性支撐，所述第二擺撓性支撐阻尼腔單元(102b)用于容納設(shè)置第二擺撓性支撐。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述應(yīng)力消除主體單元(10)的材質(zhì)包括石英或金屬。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述振梁阻尼腔(10a)和所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)均為長(zhǎng)條形結(jié)構(gòu)腔體。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述應(yīng)力消除主體單元(10)、所述第一應(yīng)力釋放外環(huán)(20)和所述第二應(yīng)力釋放外環(huán)(30)一體制成。

5.一種振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述振梁加速度計(jì)包括敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)和敏感組件(200)，所述敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)設(shè)置在所述敏感組件(200)上，所述敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)為權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述振梁加速度計(jì)包括兩個(gè)所述敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)，第一敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)設(shè)置在所述敏感組件(200)的一側(cè)，第二敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)設(shè)置在所述敏感組件(200)的另一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述敏感組件(200)包括敏感組件本體(210)、振梁叉指組件(220)和擺撓性支撐組件(230)，所述敏感組件本體(210)與所述敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)(100)的應(yīng)力消除主體單元(10)固定連接，所述振梁叉指組件(220)設(shè)置在所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)內(nèi)，所述擺撓性支撐組件(230)設(shè)置在所述擺撓性支撐阻尼腔(10b)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述振梁叉指組件(220)包括第一振梁叉指(221)和第二振梁叉指(222)，所述第一振梁叉指(221)設(shè)置在第一振梁阻尼腔單元(101a)內(nèi)，所述第二振梁叉指(222)設(shè)置在第二振梁阻尼腔單元(102a)內(nèi)，所述第一振梁叉指(221)和所述第二振梁叉指(222)相對(duì)于所述應(yīng)力消除主體單元(10)的中心軸線對(duì)稱(chēng)設(shè)置；所述擺撓性支撐組件(230)包括第一擺撓性支撐(231)和第二擺撓性支撐(232)，所述第一擺撓性支撐(231)設(shè)置在第一擺撓性支撐阻尼腔單元(101b)內(nèi)，所述第二擺撓性支撐(232)設(shè)置在第二擺撓性支撐阻尼腔單元(102b)內(nèi)，所述第一擺撓性支撐(231)和所述第二擺撓性支撐(232)相對(duì)于所述應(yīng)力消除主體單元(10)的中心軸線對(duì)稱(chēng)設(shè)置。