[發明專利]一種二維納米定位平臺控制系統在審
| 申請號： | 202110913065.5 | 申請日： | 2021-08-10 |
| 公開（公告）號： | CN113759770A | 公開（公告）日： | 2021-12-07 |
| 發明（設計）人： | 張海濤;王志岳;陳智勇;張逸倫;易明磊 | 申請（專利權）人： | 華中科技大學 |
| 主分類號： | G05B19/042 | 分類號： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 華中科技大學專利中心 42201 | 代理人： | 王穎翀 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 二維 納米 定位 平臺 控制系統 | ||
1.一種二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，包括：控制板、輸入控制回路和輸出反饋回路；
所述輸入控制回路的輸入端和輸出端分別與控制板的輸出端和二維納米定位平臺的輸入端連接，包括電壓放大器和驅動器，用于將控制板輸出的控制信號轉換為二維納米定位平臺驅動信號；
所述輸出反饋回路的輸出端與控制板的輸入端連接，包括激光位移傳感器，用于將激光位移傳感器測量的二維納米定位平臺位移數據傳輸至控制板，以供控制板生成控制信號。
2.如權利要求1所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述二維納米定位平臺控制系統還包括終端主機，所述終端主機的輸出端與控制板的輸入端連接，用于提供人機交互界面。
3.如權利要求1所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述激光位移傳感器包括激光位移傳感器探頭和激光位移傳感器主機。
4.如權利要求1-3任一項所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述二維納米定位平臺固定安裝于底座上方。
5.如權利要求4所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述激光位移傳感器包括兩個激光位移傳感器探頭，所述兩個激光位移傳感器探頭互相垂直分布在底座的XY軸方向上。
6.如權利要求4所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述底座包括卡槽、固定螺孔、電氣通路和電氣接口；
所述卡槽設置于平臺底座上表面，用于安裝所述二維納米定位平臺；
所述固定螺孔均勻對稱分布在卡槽四周，用于固定所述二維納米定位平臺；
所述電氣通路設置于底座內部，用于鋪排導線以將驅動器與電氣接口連接；
所述電氣接口設置于在底座側表面，用于接收電壓放大器傳輸的放大電壓信號，并經由電氣通路傳輸至驅動器以對所述二維納米定位平臺進行驅動。
7.如權利要求1所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述輸入控制回路包括四個驅動器，所述四個驅動器呈中心對稱分布在所述二位納米定位平臺的XY軸方向上。
8.如權利要求1所述的二維納米定位平臺控制系統，其特征在于，所述驅動器為壓電陶瓷驅動器。
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