[發(fā)明專(zhuān)利]用于光學(xué)三維形貌測(cè)量的方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110901243.2
• 申請(qǐng)日: 2016-11-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113607088A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 國(guó)衡·趙;M·范德布格特;劉晟;安迪·希爾;J·德格里夫;K·萬(wàn)吉爾斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 科磊股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/25
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/25;G01B11/24;G01B11/06;G01N21/39;G01N21/956;G02B30/50
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種用于物體的表面的光學(xué)三維形貌測(cè)量的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：

圖案化照明的源；

物鏡，其包括垂直于所述物體的所述表面的宏觀(guān)延伸的光軸，所述物鏡經(jīng)布置以將所述圖案化照明引導(dǎo)到所述物體的所述表面；

光學(xué)檢測(cè)器，所述光學(xué)檢測(cè)器在所述物體沿著與所述物鏡的所述光軸呈斜角的方向而相對(duì)于所述物鏡移動(dòng)期間，經(jīng)布置及配置用于通過(guò)所述物鏡記錄所述物體的所述表面的多個(gè)圖像，其中所述物體的所述表面上的位置在所述多個(gè)圖像中的一或多者中；以及

計(jì)算機(jī)，其連接到所述光學(xué)檢測(cè)器，所述計(jì)算機(jī)經(jīng)配置以基于所述多個(gè)圖像的光強(qiáng)度的差確定所述物體的所述表面上的所述位置的高度信息，其中所述光強(qiáng)度沿所述方向變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述圖案化照明的源包括光源和圖案掩模。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述圖案掩模具有棋盤(pán)圖案或針孔陣列。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述圖案掩模為光柵。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述光柵為振幅光柵或相位光柵。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述光柵為線(xiàn)光柵或正弦光柵或交叉線(xiàn)光柵。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述光柵為閃耀光柵。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述圖案掩模和所述檢測(cè)器在共軛平面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中分束器經(jīng)布置以使得：所述圖案化照明的源和所述物鏡之間的照明路徑，以及所述物鏡和所述檢測(cè)器之間的成像路徑都通過(guò)所述分束器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述物鏡經(jīng)定位以校正由所述分束器引起的衍射。