[發(fā)明專利]一種具有強去污能力的單晶硅制絨添加劑及應(yīng)用

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• 申請日: 2021-08-06
• 公開（公告）號: CN113584597A
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李海;丁俊勇;周樹偉;張麗娟;陳培良
• 申請（專利權(quán)）人: 常州時創(chuàng)能源股份有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有強去污能力的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，包括以下質(zhì)量百分比含量的各組分：第一表面活性劑1%~6%，第二表面活性劑2%~5%，醚類脫泡劑3%~5%，成核劑0.5%~3%，助溶劑1%~2%，螯合劑0~0.1%，余量為去離子水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述第一表面活性劑由質(zhì)量百分比含量為3%~20%的疏水單體和80%~97%的親水單體通過自由基共聚合成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所屬疏水單體為辛基二甲基烯丙基氯化銨、癸基二甲基烯丙基氯化銨、十二烷基二甲基烯丙基氯化銨、十六烷基二甲基烯丙基氯化銨、十八烷基三甲基氯化銨中的一種或幾種。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述親水單體為丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、馬來酸、丙烯酰胺、2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、烯丙基聚氧乙烯醚350-2000中的一種或幾種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述第二表面活性劑為月桂酸二乙醇酰胺、油酸二乙醇酰胺、十二烷基苯磺酸鈉中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述醚類脫泡劑為乙二醇丁醚、二乙二醇丁醚、乙二醇苯醚、二乙二醇苯醚中的一種或幾種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述成核劑為分子量不大于10萬的非離子型聚丙烯酰胺。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述助溶劑為苯磺酸鈉、對甲苯磺酸鈉、二甲苯磺酸鈉中的一種或幾種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述螯合劑為乙二胺四乙酸、二乙烯三胺五乙酸或其鈉鹽中的一種或幾種。

10.如權(quán)利要求1-9任一項所述的單晶硅制絨添加劑的制絨方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）配制制絨添加劑：將質(zhì)量百分比含量為1%~6%的第一表面活性劑，2%~5%的第二表面活性劑，3%~5%的醚類脫泡劑，0.5%~3%的成核劑，1%~2%的助溶劑，0~0.1%的螯合劑加入到余量的去離子水中，混合攪拌均勻，配制成制絨添加劑；

（2）配制堿溶液：將無機堿與去離子水混合配制成質(zhì)量百分比濃度為1~3%的堿溶液；

（3）配制制絨液：將步驟（1）的制絨添加劑加入到步驟（2）的堿溶液中，混合均勻配成制絨液，其中制絨添加劑與堿溶液的質(zhì)量比為0.5:100～1.5:100；

（4）制絨：將單晶硅片浸入步驟（3）的制絨液中進行表面制絨，制絨溫度75～85℃，制絨時間為300～480s。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶硅制絨添加劑的制絨方法，其特征在于，步驟（1）中，所述第一表面活性劑的合成方法包括以下步驟：

將質(zhì)量百分比含量為3%~20%的疏水單體和80%~97%的親水單體混合均勻，再與去離子水配制成質(zhì)量百分比濃度為10%~40%的水溶液；

調(diào)節(jié)水溶液的PH值至6~8；

加入單體質(zhì)量1/1000~1/100的引發(fā)劑，室溫下共聚合成1~3h。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的單晶硅制絨添加劑的制絨方法，其特征在于，所述引發(fā)劑由氧化劑和還原劑組成；

所述氧化劑為過硫酸鉀、過硫酸銨、過氧化氫、過氧乙酸、過氧化苯甲酰、過氧化丁酮中的一種或幾種；

所述還原劑為亞硫酸鈉、亞硫酸氫鈉、硫代硫酸鈉、焦亞硫酸鈉、氯化亞鐵、硫酸亞鐵銨、水合肼中的一種或幾種。