[發明專利]一種雙遠心曝光鏡頭

有效

• 申請號: 202110898114.2
• 申請日: 2021-08-05
• 公開（公告）號: CN113589485B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 施宏艷;朱敏;王國力
• 申請（專利權）人: 南京波長光電科技股份有限公司;深圳波長光電科技有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/22;G02B1/00;G03F7/20
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

1.一種雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：從物方到像方由依次設置的前透鏡組、光闌和后透鏡組組成；前透鏡組從物方到像方包括依次設置的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡，其中，第一透鏡為雙凸透鏡，第二透鏡為厚彎月透鏡，第三透鏡為厚彎月透鏡，第四透鏡為彎月透鏡，第五透鏡為凸透鏡，第六透鏡為凹透鏡；后透鏡組從物方到像方包括依次設置的第七透鏡和第八透鏡，第七透鏡為彎月透鏡，第八透鏡為雙凸透鏡；

第一透鏡與第二透鏡之間的中心間隔為0～0.01mm；第三透鏡與第四透鏡之間的中心間隔為1.944±0.01mm；第四透鏡與第五透鏡之間的中心間隔為48.83±0.01mm；第五透鏡與第六透鏡之間的中心間隔為0.8±0.01mm；第六透鏡與光闌之間的中心間隔為120.469±0.01mm；第七透鏡與第八透鏡之間的中心間隔為65.48±0.01mm。

2.如權利要求1所述的雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：第一透鏡的物面側為凸面，像面側為凸面；第二透鏡的物面側為凸面，像面側為凹面；第三透鏡的物面側為凸面，像面側為凹面；第四透鏡的物面側為凸面，像面側為凹面；第五透鏡的物面側為平面，像面側為凸面；第六透鏡的物面側為凹面，像面側為凹面；第七透鏡的物面側為凹面，像面側為凸面；第八透鏡的物面側為凸面，像面側為凸面。

3.如權利要求1或2所述的雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：第一透鏡的物面側：205mm＜R＜290mm，第一透鏡的像面側：-150mm＜R＜-200mm；第二透鏡的物面側：65mm＜R＜105mm，第二透鏡的像面側：600mm＜R＜700mm；第三透鏡的物面側：50mm＜R＜75mm，第三透鏡的像面側：125mm＜R＜195mm；第四透鏡的物面側：525mm＜R＜550mm，第四透鏡的像面側：35mm＜R＜65mm；第五透鏡的物面側：平面，第五透鏡的像面側：-20mm＜R＜-45mm；第六透鏡的物面側：-20mm＜R＜-45mm，第六透鏡的像面側：125mm＜R＜195mm；第七透鏡的物面側：-105＜R＜-135mm，第七透鏡的像面側：-85mm＜R＜-115mm；第八透鏡的物面側：255mm＜R＜375mm，第八透鏡的像面側：-600mm＜R＜-750mm；前述R均為曲率半徑。

4.如權利要求3所述的雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：第一透鏡的物面側：R為268.38±0.2mm，第一透鏡的像面側：R為-196.78±0.2mm；第二透鏡的物面側：R為94.19±0.2mm，第二透鏡的像面側：R為660±0.2mm；第三透鏡的物面側：R為69.38±0.2mm，第三透鏡的像面側：R為155.245±0.2mm；第四透鏡的物面側：R為540.35±0.2mm，第四透鏡的像面側：R為47.53±0.2mm；第五透鏡的物面側：平面，第五透鏡的像面側：R為-32.457±0.2mm；第六透鏡的物面側：R為-30.67±0.2mm，第六透鏡的像面側：R為164±0.2mm；第七透鏡的物面側：R為-122.366±0.2mm，第七透鏡的像面側：R為-105.298±0.2mm；第八透鏡的物面側：R為331.067±0.2mm，第八透鏡的像面側：R為-691.8±0.2mm；前述R均為曲率半徑。

5.如權利要求1或2所述的雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：第一透鏡的中心厚度為7.4mm±0.02mm；第二透鏡的中心厚度為22±0.02mm；第三透鏡的中心厚度為20±0.02mm；第四透鏡的中心厚度為7.2±0.02mm；第五透鏡的中心厚度為3.5±0.02mm；第六透鏡的中心厚度為2±0.02mm；第七透鏡的中心厚度為11.2±0.02mm；第八透鏡的中心厚度為8±0.02mm。

6.如權利要求1或2所述的雙遠心曝光鏡頭，其特征在于：第一透鏡到第八透鏡均采用在405nm±5nm范圍內高透玻璃材料。