[發(fā)明專利]一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)方法及裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110898069.0
• 申請(qǐng)日: 2021-08-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113834462A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李青;李赫然;王俊明;郭以深;張志剛;趙玉樂(lè);王光祥;劉言昌;楊山立;李東東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西光興光電科技有限公司;東旭科技集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/32
• 分類號(hào): G01B21/32
• 代理公司: 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283
• 代理人: 肖冰濱;王曉曉

本發(fā)明實(shí)施例提供一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)方法及裝置，該方法包括獲取成品尺寸的玻璃基板；對(duì)該玻璃基板進(jìn)行整版翹曲測(cè)量和邊部翹曲測(cè)量；根據(jù)所述整版翹曲測(cè)量結(jié)果和邊部翹曲測(cè)量結(jié)果，判斷該玻璃基板是否合格。該方法實(shí)現(xiàn)了玻璃翹曲檢測(cè)，降低了翹曲不良比率，確保了玻璃基材的品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及測(cè)量領(lǐng)域，具體地涉及一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)方法及裝置。

背景技術(shù)

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，電腦、手機(jī)、車載顯示屏等智能產(chǎn)品采用玻璃的越來(lái)越多，玻璃也在不斷地向大尺寸和薄型化發(fā)展，玻璃的翹曲度是玻璃在生產(chǎn)過(guò)程中需要重點(diǎn)管控的指標(biāo)之一。

在6代載板玻璃生產(chǎn)中，翹曲是一種玻璃片材的缺陷，其特征是偏離平面。翹曲的產(chǎn)生工序是成型工序，翹曲產(chǎn)生原因：熱量的不平均，在玻璃的冷卻過(guò)程中，在同一片玻璃內(nèi)有發(fā)生溫度差過(guò)大的現(xiàn)象；溢流磚粘度控制不當(dāng)，造成因重力產(chǎn)生的蠕動(dòng)變形(褶皺)；機(jī)械的干擾:受到外力干擾造成玻璃在退火過(guò)程中彎曲或變形。翹曲已成為玻璃基材制造中最棘手而持續(xù)出現(xiàn)的問(wèn)題，翹曲不良會(huì)影響下游用戶生產(chǎn)良率，造成用戶生產(chǎn)良率降低，引起用戶抱怨，影響用戶對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的信心，因此需要對(duì)玻璃基材的翹曲進(jìn)行檢測(cè)，以確定產(chǎn)品品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的是一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)方法及裝置，該方法實(shí)現(xiàn)了玻璃翹曲檢測(cè)，降低了翹曲不良比率，確保了玻璃基材的品質(zhì)。

本發(fā)明的發(fā)明人通過(guò)研究發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的技術(shù)方法中，翹曲測(cè)量方法是用半成品玻璃直接放到翹曲儀上測(cè)量整版翹曲，以整版翹曲測(cè)量結(jié)果來(lái)判定玻璃翹曲是否是良品。此方法存在的弊端是整版翹曲值不能很好的體現(xiàn)玻璃某一局部翹曲的情況，尤其是玻璃邊緣部分的翹曲。因載板玻璃制造工藝復(fù)雜，波動(dòng)因子很多，極易引起玻璃形狀的變化，即玻璃翹曲的改變。

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)方法及裝置，該方法包括：獲取成品尺寸的玻璃基板；對(duì)該玻璃基板進(jìn)行整版翹曲測(cè)量和邊部翹曲測(cè)量；根據(jù)所述整版翹曲測(cè)量結(jié)果和邊部翹曲測(cè)量結(jié)果，判斷該玻璃基板是否合格。

可選的，對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行清理后進(jìn)行整版翹曲測(cè)量；所述整版翹曲測(cè)量結(jié)果合格后，進(jìn)行邊部翹曲測(cè)量。

可選的，根據(jù)邊部翹曲測(cè)量結(jié)果與翹曲閾值的比較，判定該玻璃基板是否合格。

可選的，所述整版翹曲測(cè)量時(shí)，橫向采樣步距為5-50mm，縱向采樣步距為5-50mm；所述邊部翹曲測(cè)量時(shí)，橫向采樣步距為5-10mm，縱向采樣步距為5-10mm。

可選的，以所述玻璃基板的一側(cè)為基準(zhǔn)，所述邊部翹曲測(cè)量包括近端翹曲測(cè)量、遠(yuǎn)端翹曲測(cè)量、上端翹曲測(cè)量和下端翹曲測(cè)量。

可選的，所述近端翹曲測(cè)量包括：測(cè)量一組數(shù)據(jù)，獲取該測(cè)量數(shù)據(jù)的最大值為近端翹曲值。

可選的，所述遠(yuǎn)端翹曲測(cè)量包括：測(cè)量一組數(shù)據(jù)，獲取該測(cè)量數(shù)據(jù)的最大值為遠(yuǎn)端翹曲值。

可選的，根據(jù)上端翹曲測(cè)量獲取玻璃基板的上端翹曲值、近上角翹曲值、遠(yuǎn)上角翹曲值。

可選的，根據(jù)下端翹曲測(cè)量獲取玻璃基板的下端翹曲值、近下角翹曲值、遠(yuǎn)下角翹曲值。

相應(yīng)的，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種玻璃基板翹曲的檢測(cè)裝置，包括：獲取單元，用于獲取成品尺寸的玻璃基板；測(cè)量單元，用于對(duì)該玻璃基板進(jìn)行整版翹曲測(cè)量和邊部翹曲測(cè)量；判定單元，根據(jù)所述整版翹曲測(cè)量結(jié)果和邊部翹曲測(cè)量結(jié)果，檢測(cè)該玻璃基板是否合格。

可選的，對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行清理后進(jìn)行整版翹曲測(cè)量；所述整版翹曲測(cè)量結(jié)果合格后，進(jìn)行邊部翹曲測(cè)量。

可選的，根據(jù)邊部翹曲測(cè)量結(jié)果與翹曲閾值的比較，判定該玻璃基板是否合格。

可選的，以所述玻璃基板的一側(cè)為基準(zhǔn)，所述邊部翹曲測(cè)量包括近端翹曲測(cè)量、遠(yuǎn)端翹曲測(cè)量、上端翹曲測(cè)量和下端翹曲測(cè)量。