[發(fā)明專利]一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法及系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110893634.4 | 申請日： | 2021-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN113336198B | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳福泰;白立強;楊艷;王瓊 | 申請（專利權(quán)）人： | 清大國華環(huán)境集團股份有限公司;北京清大國華環(huán)境技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C01B17/90 | 分類號： | C01B17/90;C01B17/88 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李愛民 |
| 地址： | 100089 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 集成電路 行業(yè) 硫酸 回收 利用 方法 系統(tǒng) | ||
1.一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1、加熱：在催化劑的存在下，將待處理的廢硫酸加熱至25-90℃，加熱1-2h，制得稀硫酸；
S2、濃縮：將步驟S1制得的稀硫酸進行濃縮，濃縮溫度為110-160℃，濃縮4-8h，制得濃硫酸；
S3、精餾：將步驟S2制得的濃硫酸進行精餾，精餾2-4h，制得高純硫酸；
基于所述集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法的集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用系統(tǒng)，包括廢液儲罐(1)、加熱釜(2)、濃縮釜(3)、精餾塔(4)、稀硫酸儲罐(5)、濃硫酸儲罐(6)和高純硫酸儲罐(7)；廢液儲罐(1)與加熱釜(2)通過液體管道相連通，加熱釜(2)與濃縮釜(3)通過液體管道相連通，濃縮釜(3)與精餾塔(4)通過液體管道相連通，加熱釜(2)與稀硫酸儲罐(5)通過液體管道相連通，濃縮釜(3)與濃硫酸儲罐(6)通過液體管道相連通，精餾塔(4)與高純硫酸儲罐(7)通過液體管道相連通；
還包括外循環(huán)罐(8)、復配硫酸儲罐(9)和噴淋吸收塔(10)；
外循環(huán)罐(8)與濃縮釜(3)通過液體管道相連通，并且濃縮釜(3)的液位高于外循環(huán)罐(8)的液位；
復配硫酸儲罐(9)與精餾塔(4)通過液體管道相連通；
加熱釜(2)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通，濃縮釜(3)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通，精餾塔(4)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，還包括以下步驟：S4、復配：將步驟S3中殘留的硫酸與水進行復配，制得復配硫酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，步驟S1、步驟S2、步驟S3處理過程中產(chǎn)生的酸性氣體，通過堿性溶液進行噴淋處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，所用堿性溶液為氫氧化鈉。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，整個反應過程中，采用真空泵抽負壓方式運行，壓力為0.09Mpa。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法，其特征在于，步驟S1中，催化劑為MnO2。
7.一種基于如權(quán)利要求1-6中任意一項所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法的集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用系統(tǒng)，其特征在于，包括廢液儲罐(1)、加熱釜(2)、濃縮釜(3)、精餾塔(4)、稀硫酸儲罐(5)、濃硫酸儲罐(6)和高純硫酸儲罐(7)；廢液儲罐(1)與加熱釜(2)通過液體管道相連通，加熱釜(2)與濃縮釜(3)通過液體管道相連通，濃縮釜(3)與精餾塔(4)通過液體管道相連通，加熱釜(2)與稀硫酸儲罐(5)通過液體管道相連通，濃縮釜(3)與濃硫酸儲罐(6)通過液體管道相連通，精餾塔(4)與高純硫酸儲罐(7)通過液體管道相連通；
還包括外循環(huán)罐(8)、復配硫酸儲罐(9)和噴淋吸收塔(10)；
外循環(huán)罐(8)與濃縮釜(3)通過液體管道相連通，并且濃縮釜(3)的液位高于外循環(huán)罐(8)的液位；
復配硫酸儲罐(9)與精餾塔(4)通過液體管道相連通；
加熱釜(2)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通，濃縮釜(3)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通，精餾塔(4)與噴淋吸收塔(10)通過氣體管道相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用系統(tǒng)，其特征在于，加熱釜(2)、濃縮釜(3)、精餾塔(4)和外循環(huán)罐(8)均采用石英材料制成。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于清大國華環(huán)境集團股份有限公司;北京清大國華環(huán)境技術(shù)有限公司，未經(jīng)清大國華環(huán)境集團股份有限公司;北京清大國華環(huán)境技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110893634.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
