[發(fā)明專利]一種探針卡安裝系統(tǒng)及探針卡安裝方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110893590.5
• 申請日: 2021-08-04
• 公開（公告）號: CN113466501A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設計）人: 劉世文;劉藝;陳亮
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 黃勇;任志龍

本申請涉及一種探針卡安裝系統(tǒng)及探針卡安裝方法，其包括：機架；鎖緊機構(gòu)；抬升機構(gòu)；移動機構(gòu)；所述鎖緊機構(gòu)包括設置于機架上的基座、轉(zhuǎn)動連接于基座上的安裝環(huán)及驅(qū)動安裝環(huán)轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機構(gòu)，所述安裝環(huán)遠離基座的端面一體成型有至少三個安裝塊，探針卡能夠嵌設于安裝環(huán)內(nèi)腔，所述安裝塊塊靠近基座的側(cè)壁能夠與探針卡遠離基座的側(cè)壁抵接。在安裝時將探針板置于抬升機構(gòu)上并經(jīng)由移動機構(gòu)將探針板移動至鎖緊機構(gòu)下方，抬升機構(gòu)將探針板抬升至安裝環(huán)內(nèi)，安裝環(huán)轉(zhuǎn)動將探針板的位置固定，在探針板安裝的過程中不再需要將檢測機構(gòu)進行翻轉(zhuǎn)，從而使探針板的更換及安裝更加方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及晶片檢測設備的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種探針卡安裝系統(tǒng)及探針卡安裝方法。

背景技術(shù)

在對形成有多個半導體器件的晶片進行檢測時，通常在檢測裝置上安裝探針卡，利用探針卡進行檢測。探針卡上通常設置有多個接觸探針，利用接觸探針與半導體器件的各電極焊盤和焊料凸塊接觸，使電流從各接觸探針流向連接于各電極焊盤和焊料凸塊的半導體電路，從而檢測電路的導通狀態(tài)。

但是在探針卡使用過程中，其接觸探針會因與晶片的接觸而磨損需要更換，在更換時需要將探針卡從其連接的檢測裝置上拆除并重新安裝新的探針卡。

目前在拆除及重新安裝探針卡的過程中，需要先將檢測裝置向上翻轉(zhuǎn)從而使探針卡轉(zhuǎn)動至豎直或朝上的狀態(tài)，接著再將探針卡進行拆卸及重新安裝。但是檢測裝置的重量較大，從而導致翻轉(zhuǎn)的過程較為麻煩。

因此需要提出一種新的技術(shù)方案來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了使探針卡的安裝及更換的過程更加方便，本申請?zhí)峁┮环N探針卡安裝系統(tǒng)及探針卡安裝方法。

本申請?zhí)峁┑囊环N探針卡安裝系統(tǒng)，采用如下技術(shù)方案：

一種探針卡安裝系統(tǒng)，包括：

機架；

鎖緊機構(gòu)，所述鎖緊機構(gòu)設置于機架上并將探針卡鎖緊，所述鎖緊機構(gòu)位于檢測裝置的下方；

抬升機構(gòu)，所述抬升機構(gòu)設置于機架上并將探針板朝向鎖緊機構(gòu)移動；

移動機構(gòu)，所述移動機構(gòu)設置于機架上并驅(qū)動抬升機構(gòu)水平移動；

所述鎖緊機構(gòu)包括設置于機架上的基座、轉(zhuǎn)動連接于基座上的安裝環(huán)及驅(qū)動安裝環(huán)轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機構(gòu)，所述安裝環(huán)遠離基座的端面一體成型有至少三個安裝塊，探針卡能夠嵌設于安裝環(huán)內(nèi)腔，所述安裝塊塊靠近基座的側(cè)壁能夠與探針卡遠離基座的側(cè)壁抵接。

通過采用上述技術(shù)方案，將探針板置于抬升機構(gòu)上并經(jīng)由移動機構(gòu)將探針板移動至鎖緊機構(gòu)下方，抬升機構(gòu)將探針板抬升至安裝環(huán)內(nèi)，安裝環(huán)轉(zhuǎn)動將探針板的位置固定，在探針板安裝的過程中不再需要將檢測機構(gòu)進行翻轉(zhuǎn)，從而使探針板的更換及安裝更加方便。

可選的：所述基座還設置有驅(qū)動安裝環(huán)朝向基座移動壓緊機構(gòu)，所述壓緊機構(gòu)包括同軸套設于安裝環(huán)外的驅(qū)動環(huán)及周向設置于安裝環(huán)外的若干驅(qū)動塊，所述驅(qū)動環(huán)內(nèi)壁周向設置有若干驅(qū)動槽，所述驅(qū)動槽呈傾斜設置且其兩端分別靠近驅(qū)動環(huán)的兩個端面，所述驅(qū)動塊設置于驅(qū)動槽內(nèi)并沿驅(qū)動槽滑動。

通過采用上述技術(shù)方案，利用驅(qū)動環(huán)帶動安裝環(huán)朝向基座移動，進而實現(xiàn)探針板朝向檢測裝置移動，使探針板的金手指與檢測裝置的電極抵接穩(wěn)定。

可選的：所述基座上還設置有限定驅(qū)動環(huán)軸向位置的限位環(huán)，所述限位環(huán)同軸套設于驅(qū)動環(huán)外，所述限位環(huán)上軸向開設有若干限位槽，所述驅(qū)動環(huán)上固定有若干限位件，所述限位件嵌設于限位槽內(nèi)并沿限位槽移動。

通過采用上述技術(shù)方案，利用限位環(huán)對驅(qū)動環(huán)的軸向移動進行限制，使驅(qū)動環(huán)在驅(qū)動安裝環(huán)花朝向基座移動時驅(qū)動環(huán)自身不易產(chǎn)生軸向位置，使安裝環(huán)的移動過程不易受到影響。