[發明專利]一種簡易測量超聲波用超聲波探頭定位工具

在審

• 申請號: 202110887228.7
• 申請日: 2021-08-03
• 公開（公告）號: CN113607273A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 李慧展
• 申請（專利權）人: 山西白求恩醫院（山西醫學科學院）
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00
• 代理公司: 深圳至誠化育知識產權代理事務所(普通合伙) 44728
• 代理人: 劉英

本發明公開了一種簡易測量超聲波用超聲波探頭定位工具，包括橫臂，橫臂的一端設有安裝板，橫臂上設有第一移動機構和第一滑塊，第一滑塊上連接有豎臂，豎臂上設有第二移動機構和第二滑塊，第二滑塊的兩側端分別設有連接桿和連接件，連接桿和連接件上分別設有位移檢測器和探頭本體，該定位工具通過第一移動機構和第二移動機構配合來間接帶動位移檢測器和探頭本體移動來實現多點檢測功能，檢測時，位移檢測器能夠實時檢測探頭本體的位移狀況，進而提高多點檢測時的取點及檢測準確性，且在進行多點檢測時無需重新拆裝探頭，十分方便。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，具體是一種簡易測量超聲波用超聲波探頭定位工具。

背景技術

硅片在加工過程中，洗凈機設備非常重要，尤其是洗凈機中的超聲波對顆粒的去除效果顯著，定期測試超聲功率，有助于判斷超聲波是否出現異常，避免影響洗凈機的清洗能力。

因為測試洗凈機槽內超聲波功率時，槽內部是有水存在的，且槽體底部的超聲波振子是多排并列，使整個槽內都能產生超聲作用，所以測試超聲功率時不能夠只對一個點進行測試，需要取多個測試點，全方位監控槽體內不同位置的超聲功率，而現有的超聲波探頭夾持工具大多是定點夾持檢測的，在進行對點檢測時需要重新拆卸和安裝定位工具，較為不便，且重新安裝定位工具的過程中易產生誤差，進而影響后續檢測結果。

發明內容

本發明的目的在于提供一種簡易測量超聲波用超聲波探頭定位工具，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種簡易測量超聲波用超聲波探頭定位工具，包括：

橫臂，橫臂的一端設有安裝板，橫臂上設有第一滑塊；

第一移動機構，設置在橫臂上，用于驅動第一滑塊在橫臂上移動；

豎臂，連接設置在第一滑塊上，豎臂上設有第二滑塊，所述第二滑塊的兩側分別設有連接桿和連接件，所述連接桿和連接件上分別設有位移檢測器和探頭本體；

及第二移動機構，設置在豎臂上，用于驅動第二滑塊在豎臂上移動。

作為本發明進一步的方案：所述第一移動機構包括第一活動槽、第一電機和第一絲桿，所述第一活動槽設置在橫臂上，所述第一電機和第一絲桿均設置在第一活動槽內，所述第一滑塊內設有第一螺紋套，所述第一滑塊通過第一螺紋套與第一絲桿相連。

作為本發明再進一步的方案：所述第二移動機構包括第二活動槽、第二電機和第二絲桿，所述第二機構采用和第一移動機構同樣的設置方式設置在豎臂上，所述第二滑塊通過其內部設置的第二螺紋套與第二絲桿相連。

作為本發明再進一步的方案：所述安裝架還包括連接橫板、連接豎板、弧形夾持板和夾持直板，所述連接橫板的一端與第二滑塊側壁，連接橫板的另一端與連接豎板一側相連，所述連接豎板另一側固定連接有弧形夾持板，所述弧形夾持板一側通過彈簧連接有夾持直板，所述夾持直板靠近弧形夾持板的一側設有夾持件。

作為本發明再進一步的方案：所述弧形夾持板和夾持直板通過螺栓螺母實現連接固定。

作為本發明再進一步的方案：所述弧形夾持板內圍設有防滑軟墊。

作為本發明再進一步的方案：所述安裝板與橫臂共同連接設置有加強板。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：通過設置橫臂與豎臂配合來帶動連接件進而帶動探頭本體移動來實現聲波檢測功能，在利用探頭本體進行聲波檢測的過程中，通過位移檢測器來實時檢測探頭本體的位移狀況，并對探頭本體的位移數據進行收集，進而提高多點檢測的準確性，探頭本體的位置移動通過第一移動機構和第二移動機構配合完成，自動化程度高，且移動精確度高，在進行多點檢測時，無需重新拆裝探頭，十分方便。

附圖說明