[發(fā)明專利]一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備及方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110885830.7 | 申請(qǐng)日： | 2021-08-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113561053A | 公開（公告）日： | 2021-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王新強(qiáng);王丕龍;楊玉珍;朱建英;趙旺 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島佳恩半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/10 | 分類號(hào)： | B24B37/10;B24B37/11;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005;B24B47/12;B24B47/14;B24B57/02;B24B57/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 武漢聚信匯智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42258 | 代理人： | 劉丹 |
| 地址： | 266000 山東省青島市城陽(yáng)*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超薄 碳化硅 襯底 制備 設(shè)備 方法 | ||
1.一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備，其特征在于：包括安裝平臺(tái)(100)，所述安裝平臺(tái)(100)包括臺(tái)面板(102)，所述臺(tái)面板(102)頂部的中央轉(zhuǎn)動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)(200)，所述旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)(200)的軸體穿過(guò)所述臺(tái)面板(102)底部與傳送電機(jī)(103)的輸出軸固定連接，所述傳送電機(jī)(103)固定安裝于所述臺(tái)面板(102)的底部，所述旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)(200)頂部四周均勻固定連接有至少兩片晶圓底襯(400)，所述臺(tái)面板(102)頂部的左側(cè)固定連接有研磨支架(107)，所述研磨支架(107)的頂部沿水平方向軸承連接有絲杠(106)和滑軸(108)，所述絲杠(106)和所述滑軸(108)之間設(shè)置有篩液研磨頭(300)，所述絲杠(106)的一端與往復(fù)電機(jī)(105)的輸出軸固定連接，所述往復(fù)電機(jī)(105)固定安裝于所述研磨支架(107)表面，所述往復(fù)電機(jī)(105)用于驅(qū)動(dòng)所述篩液研磨頭(300)做橫向的來(lái)回往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所述臺(tái)面板(102)的底部左側(cè)且對(duì)應(yīng)所述晶圓底襯(400)位置處固定安裝有頂升液壓缸(104)，所述頂升液壓缸(104)用于頂升所述晶圓底襯(400)進(jìn)行研磨減薄，所述晶圓底襯(400)的一側(cè)設(shè)置有減薄液噴灑裝置(500)，用于向所述晶圓底襯(400)研磨面噴灑減薄液，所述臺(tái)面板(102)底部的右側(cè)設(shè)置有控制器(101)，所述控制器(101)用于控制所述旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)(200)和所述篩液研磨頭(300)運(yùn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)送料臺(tái)(200)包括轉(zhuǎn)動(dòng)底座(201)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)底座(201)軸承連接于所述臺(tái)面板(102)頂部中央，所述轉(zhuǎn)動(dòng)底座(201)頂部四周均勻開設(shè)有至上兩個(gè)滑孔(20101)，所述滑孔(20101)內(nèi)部滑動(dòng)連接有滑塊座(203)，所述滑塊座(203)的頂部設(shè)置有真空吸盤(204)，各所述真空吸盤(204)與抽真空設(shè)備連接，所述滑塊座(203)底部固定連接有頂升板(202)，所述頂升液壓缸(104)用于頂升所述頂升板(202)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種超薄碳化硅單晶襯底的制備設(shè)備，其特征在于：所述篩液研磨頭(300)包括安裝框(302)，所述安裝框(302)內(nèi)壁的左右兩側(cè)之間并排固定連接有內(nèi)螺紋套(303)和滑套(301)，所述內(nèi)螺紋套(303)與所述絲杠(106)螺接，所述滑套(301)與所述滑軸(108)滑動(dòng)連接，所述安裝框(302)內(nèi)壁頂部中央處固定安裝有調(diào)節(jié)液壓缸(304)，所述安裝框(302)底部固定連接有保護(hù)罩(305)，所述保護(hù)罩(305)的內(nèi)部設(shè)置有摩擦塊(306)，所述調(diào)節(jié)液壓缸(304)伸縮軸的底端穿過(guò)所述保護(hù)罩(305)和所述摩擦塊(306)軸承連接于螺紋桿(313)的頂部，所述螺紋桿(313)的底部固定連接有研磨盤座(311)，所述螺紋桿(313)的表面嚙合有升降簡(jiǎn)(307)，所述升降簡(jiǎn)(307)四周表面的中央處套設(shè)有固定環(huán)(309)和補(bǔ)位彈簧(317)，所述補(bǔ)位彈簧(317)的頂部與所述升降簡(jiǎn)(307)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述固定環(huán)(309)的四周表面均勻設(shè)置有篩選翼板(308)，所述研磨盤座(311)四周表面均勻設(shè)置有區(qū)間槽(31101)，所述篩選翼板(308)插接于所述區(qū)間槽(31101)內(nèi)部，所述升降簡(jiǎn)(307)的外部套設(shè)錐齒輪一(314)，所述錐齒輪一(314)固定連接于所述研磨盤座(311)的頂部，所述錐齒輪一(314)頂部的一側(cè)嚙合有錐齒輪二(315)，所述錐齒輪二(315)與研磨電機(jī)(310)的輸出軸固定連接，所述研磨電機(jī)(310)固定安裝于隨動(dòng)電機(jī)支架(316)表面，所述隨動(dòng)電機(jī)支架(316)固定連接于所述安裝框(302)底部，所述隨動(dòng)電機(jī)支架(316)為提供所述研磨電機(jī)(310)上下位移的結(jié)構(gòu)，所述研磨盤座(311)底部均勻設(shè)置有至少兩個(gè)研磨塊(312)。
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