[發明專利]一種基于無掩膜版工藝的快速曝光裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202110879850.3
• 申請日: 2021-08-02
• 公開（公告）號: CN113568275A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 吳尚;張翔;熊寶星;袁孝
• 申請（專利權）人: 南京科天光電工程研究院有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 南京燦爛知識產權代理有限公司 32356
• 代理人: 李志鴻

1.一種基于無掩膜版工藝的快速曝光裝置，其特征在于，包括：

曝光機構（1），用于與曝光作業生產線對接，所述曝光機構（1）的頂部設置有硅片本體（5），所述曝光機構（1）包括機體（11），所述機體（11）的內部設置有直線模組一（12）以及直線模組二（15），所述直線模組一（12）的頂部通過電動推桿一（13）設置有承載板一（14），所述直線模組二（15）的頂部設置有承載板二（17），所述承載板一（14）以及承載板二（17）的內部均設置有用于吸附硅片本體（5）的吸盤；

曝光組件（2），用于對噴膠后的所述硅片本體（5）進行曝光作業，所述曝光組件（2）包括設置于機體（11）頂部的曝光機（22）；

噴膠烘干組件（3），用于對清洗后的所述硅片本體（5）進行噴膠和烘干操作，所述噴膠烘干組件（3）包括設置于機體（11）頂部的箱體（31），所述箱體（31）的內部設置有電機（311），所述箱體（31）的頂部設置有頂蓋（32），所述頂蓋（32）的底部設置有軟烘組件（321）；

所述軟烘組件（321）包括出風板（3211），所述出風板（3211）的頂部設置有電加熱絲（3213），所述頂蓋（32）的底部設置有彈簧（324），所述彈簧（324）的底端與出風板（3211）的頂部固定連接，所述頂蓋（32）的內部設置有數量不少于一個的風機（328），所述頂蓋（32）的內部設置有噴膠頭（327），所述箱體（31）的內部設置有收集筒（33），用于對噴膠過程中溢出的膠水進行收集，所述收集筒（33）的底部通過收集管（332）設置有匯合筒（38），所述電機（311）的輸出端延伸至收集筒（33）的內部并設置有負壓筒（34），所述負壓筒（34）的表面通過密封軸承設置有固定板（35），所述固定板（35）的內部設置有與負壓筒（34）內部相連通的氣管（36），所述氣管（36）遠離負壓筒（34）的一端貫穿至箱體（31）的外部，通過負壓筒（34）連接負壓設備，維持所述負壓腔內部的負壓狀態；

支撐組件（4），用于對所述硅片本體（5）進行上料和下料的操作，所述支撐組件（4）包括設置于箱體（31）內部的電動推桿二（41），所述電動推桿二（41）的頂部設置有一端延伸至收集筒（33）內部的連接桿（44）；

膠箱（6），用于儲存和回收光刻膠，所述膠箱（6）設置于機體（11）的頂部，所述膠箱（6）的頂部設置有用于抽取膠箱（6）內部的光刻膠向噴膠頭（327）輸送的泵機（61），所述膠箱（6）的頂部設置有一端貫穿箱體（31）并延伸至匯合筒（38）內部的回收管（63）。

2.根據權利要求1所述的一種基于無掩膜版工藝的快速曝光裝置，其特征在于：所述直線模組二（15）的頂部設置有直線模組三（16），所述承載板二（17）設置于直線模組三（16）的頂部，啟動所述直線模組二（15）和直線模組三（16），實現對所述承載板二（17）的前后左右位移，所述曝光機（22）的頂部設置有一端與機體（11）頂部固定連接的支撐架（21）。

3.根據權利要求1所述的一種基于無掩膜版工藝的快速曝光裝置，其特征在于：所述負壓筒（34）的表面開設有數量不少于一個的負壓孔（341），所述負壓筒（34）的頂部設置有橡膠墊（342），所述硅片本體（5）設置于橡膠墊（342）的頂部，所述電機（311）輸出軸的表面通過密封軸承與收集筒（33）的內部活動套接，所述匯合筒（38）的底部設置有支桿且支桿的底部與箱體（31）內壁的底部固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種基于無掩膜版工藝的快速曝光裝置，其特征在于：所述電動推桿二（41）的頂部設置有支撐板（42），所述電動推桿二（41）的數量為兩個，兩組所述支撐板（42）之間通過連接板（43）固定連接，所述連接桿（44）設置支撐板（42）的頂部，所述連接桿（44）的頂部設置有位于硅片本體（5）下方的頂板（45）。