[發明專利]用于柔性物料的平整方法和裝置

在審

• 申請號: 202110874860.8
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113581893A
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 靳登科;顧勇強;季樹勇;王永興
• 申請（專利權）人: 逸美德科技股份有限公司
• 主分類號: B65H5/36
• 分類號: B65H5/36;B65H9/08
• 代理公司: 蘇州隆恒知識產權代理事務所(普通合伙) 32366
• 代理人: 計靜靜

1.一種用于柔性物料的平整方法，所述柔性物料包括檢測部和圍設在所述檢測部外圍的輔料部，其特征在于，包括以下步驟：

用具有空心部的定位單元將柔性物料固定在承載平臺上，所述定位單元壓設在輔料部上，所述空心部與所述檢測部對應設置；

將所述空心部遠離所述承載平臺的一端閉合，以使所述空心部密封；

向所述空心部注入正壓氣體，在所述空心部形成向所有面施壓的正壓力，從而壓平所述檢測部。

2.根據權利要求1所述的用于柔性物料的平整方法，其特征在于，所述柔性物料包括PU薄膜和設置在所述PU薄膜檢測部上的晶圓，設定所述空心部的壓力為0.5MPA-0.7MPA。

3.一種用于柔性物料的平整裝置，所述柔性物料包括檢測部和圍設在所述檢測部外圍的輔料部，其特征在于，所述平整裝置包括：

承載平臺，所述承載平臺具有用于所述柔性物料設置于其上的平面部；

定位單元，所述定位單元壓設于所述輔料部遠離所述平面部的一側，所述定位單元具有在垂直于所述平面部的方向上貫通的空心部，所述空心部與所述檢測部對應設置，所述定位單元貫通開設有自臨近所述空心部向著遠離所述空心部的氣流通道；密封部，所述密封部設置于所述空心部遠離所述承載平臺的一側并使所述空心部密封；

氣源，所述氣源與所述氣流通道連通，以能向所述氣流通道輸入氣體從而使空心部達到預設壓力，所述氣源能在所述空心部處于預設壓力時停止向所述氣流通道輸入氣體。

4.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，所述密封部為透明的光學玻璃。

5.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，包括固定單元，所述固定單元鄰接于所述定位單元和所述承載平臺，所述固定單元與所述定位單元和所述承載平臺螺紋連接。

6.根據權利要求5所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，多個所述固定單元設置在所述定位單元的遠離所述空心部的一端。

7.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，所述定位單元具有與所述平面部平行的第一平面和第二平面，所述密封部臨近所述平面部的一側與所述平面部平行，所述第一平面與所述輔料部抵接，所述第二平面與所述密封部抵接。

8.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，所述密封部與所述定位單元固定連接。

9.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，所述承載平臺開設有自其邊緣向其內部凹陷的凹槽，所述凹槽與所述氣管接頭對應設置。

10.根據權利要求3所述的用于柔性物料的平整裝置，其特征在于，所述承載平臺與所述定位單元均為鋁板。