[發明專利]一種節能環保型退火爐

有效

• 申請號: 202110873646.0
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113624011B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 王大威;趙釗輝
• 申請（專利權）人: 徐州中輝光伏科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;H01L31/18
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 景鵬飛

本發明提供了一種節能環保型退火爐，包括退火爐體以及安裝于退火爐體內部的可調節的內壁蓋板。本發明提供了一種內腔可調節的退火爐，可根據內部所加工半導體晶片的數量進行調節，在保證退火質量的同時，使退火爐以低于額定功率運行，節省能源；具有創新性的調節件，利用電生磁產生的磁性以及內壁蓋板的自重相配合，實現內壁蓋板不同角度的調節與固定，調節方式更加靈活精準；可直接在現有退火爐的基礎上進行改裝，改裝方法簡單，并且改裝成本低廉，具有良好的推廣實用性。

技術領域

本發明屬于光伏技術領域，具體涉及一種節能環保型退火爐。

背景技術

光伏組件是光伏技術的關鍵組件，光伏組件是將太陽光通過光伏效應，由光轉化成電能。光伏組件的基本結構是感光二極管，是通過微電子技術在半導體材料上制作而成。而退火爐是在半導體器件制造中所使用的的一種關鍵性設備，通過加熱半導體晶片以影響其電性能。

現有的節能型退火爐基本采用纖維結構，其內腔的形狀及大小均固定，無法針對所加工半導體晶片進行調節。當所加工數量較少時，為了保證退火質量，依然需要保證退火爐以額定功率運行，導致能源的浪費。

因此，針對以上問題研制出一種節能環保型退火爐是本領域技術人員所急需解決的難題。

發明內容

為解決上述問題，本發明公開了一種節能環保型退火爐。

為了達到上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種節能環保型退火爐，包括退火爐體以及安裝于退火爐體內部的可調節的內壁蓋板。

進一步地，內壁蓋板通過調節件安裝于退火爐體的爐體內壁上；調節件包括內壁連桿、蓋板連桿、內壁連接片、蓋板連接片、導線、電源以及啟閉開關；內壁連桿的一端與爐體內壁相連，另一端沿軸向向內設有調節槽；蓋板連桿的一端滑動安裝于調節槽內，另一端與內壁蓋板相連；內壁連接片為硅鋼片，貼合于調節槽的槽底；蓋板連接片貼合于蓋板連桿位于調節槽內的一端；導線呈螺旋狀纏繞于內壁連接片的表面，并連接電源與啟閉開關形成回路；電源以及啟閉開關均設置于退火爐體的外側。

進一步地，內壁蓋板的數量為兩個，并且兩個內壁蓋板相互靠近的一端轉動安裝于爐體內壁的頂部，相互遠離的一端通過調節件安裝于退火爐體的爐體內壁上。

進一步地，內壁連桿為弧形桿；調節槽同樣為弧形槽。

進一步地，兩個內壁蓋板沿退火爐體的深度方向安裝于爐體內壁的頂部。

進一步地，導線所在回路內還接入有變阻器。

進一步地，變阻器為有機實芯電位器；導線的表面還包裹有一層耐高溫防火表皮。

進一步地，啟閉開關為脈沖開關。

本發明與現有技術相比，具有如下有益效果：

1、提供了一種內腔可調節的退火爐，可根據內部所加工半導體晶片的數量進行調節，在保證退火質量的同時，使退火爐以低于額定功率運行，節省能源；

2、具有創新性的調節件，利用電生磁產生的磁性以及內壁蓋板的自重相配合，實現內壁蓋板不同角度的調節與固定，調節方式更加靈活精準；

3、可直接在現有退火爐的基礎上進行改裝，改裝方法簡單，并且改裝成本低廉，具有良好的推廣實用性。

附圖說明

圖1、本發明的結構示意圖；

圖2、本發明中調節件的結構示意圖。

附圖標記列表：退火爐體1、內壁蓋板2、調節件3、內壁連桿4、蓋板連桿5、內壁連接片6、蓋板連接片7、導線8、電源9、啟閉開關10、調節槽11、變阻器12。

具體實施方式