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[發明專利]一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝有效

專利信息
申請號: 202110872400.1 申請日: 2021-07-30
公開(公告)號: CN113461014B 公開(公告)日: 2022-11-15
發明(設計)人: 吳文斌;舒小敏 申請(專利權)人: 江西科泰新材料有限公司
主分類號: C01B33/00 分類號: C01B33/00
代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129 代理人: 楊麗;夏軍
地址: 330800 江西省*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硫化 雙溫區氣固 合成 工藝
【權利要求書】:

1.一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于,所述工藝包括以下步驟:

S1、將硫塊與硅粉混合后粉碎至粒徑為0.3-0.5mm后,置于合成管中,將合成管中抽至真空度為1-100mTorr后密封;所述硫塊中硫單質含量≧99.999%;所述硅粉中硅單質含量≧99.9%;其中,Si和S的混合摩爾比為1:(2.1-2.3);

S2、合成管分為高溫區和低溫區,S1中混合后的硫塊和硅粉位于高溫區;合成管高溫區依次在600-800℃保溫1-3h,800-900℃保溫1-2h,900-1000℃保溫1-3h,1000-1100℃保溫1-3h和1100-1200℃保溫1-3h;合成管低溫區在200-300℃保溫,且低溫區保溫時間與高溫區保溫時間相同;

S3、將S2中加熱結束后的合成管冷卻至室溫,取出產物;

所述合成管低溫區朝向高溫區,沿重力方向傾斜設置。

2.根據權利要求1所述的一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于:所述合成管為石英管,且所述石英管的軟化點為1400℃。

3.根據權利要求2所述的一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于:所述石英管使用前,用10%HF浸泡10min,用去離子水洗滌后烘干。

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