[發明專利]一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝有效
| 申請號: | 202110872400.1 | 申請日: | 2021-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN113461014B | 公開(公告)日: | 2022-11-15 |
| 發明(設計)人: | 吳文斌;舒小敏 | 申請(專利權)人: | 江西科泰新材料有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/00 | 分類號: | C01B33/00 |
| 代理公司: | 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129 | 代理人: | 楊麗;夏軍 |
| 地址: | 330800 江西省*** | 國省代碼: | 江西;36 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硫化 雙溫區氣固 合成 工藝 | ||
1.一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于,所述工藝包括以下步驟:
S1、將硫塊與硅粉混合后粉碎至粒徑為0.3-0.5mm后,置于合成管中,將合成管中抽至真空度為1-100mTorr后密封;所述硫塊中硫單質含量≧99.999%;所述硅粉中硅單質含量≧99.9%;其中,Si和S的混合摩爾比為1:(2.1-2.3);
S2、合成管分為高溫區和低溫區,S1中混合后的硫塊和硅粉位于高溫區;合成管高溫區依次在600-800℃保溫1-3h,800-900℃保溫1-2h,900-1000℃保溫1-3h,1000-1100℃保溫1-3h和1100-1200℃保溫1-3h;合成管低溫區在200-300℃保溫,且低溫區保溫時間與高溫區保溫時間相同;
S3、將S2中加熱結束后的合成管冷卻至室溫,取出產物;
所述合成管低溫區朝向高溫區,沿重力方向傾斜設置。
2.根據權利要求1所述的一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于:所述合成管為石英管,且所述石英管的軟化點為1400℃。
3.根據權利要求2所述的一種二硫化硅的雙溫區氣固合成工藝,其特征在于:所述石英管使用前,用10%HF浸泡10min,用去離子水洗滌后烘干。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江西科泰新材料有限公司,未經江西科泰新材料有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110872400.1/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。





