[發明專利]基板定位監控系統及監控方法

有效

• 申請號: 202110867534.4
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113593197B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: 曲俊龍
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G08B21/18
• 分類號: G08B21/18;G08B21/24
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 楊艇要

1.一種基板定位監控系統，其特征在于，包括：

至少一動力單元，具有扭力輸出端，所述扭力輸出端連接有至少一個用以定位基板的定位桿；

監控單元，至少包括用以收集所述動力單元輸出的扭力值和所述定位桿與基板側邊之間間距值的收集模塊、判定是否超出預先設定的第一警報閾值的第一判定模塊和用以發送反饋信息的反饋模塊，所述動力單元與所述監控單元通信連接，所述基板定位監控系統還包括與監控單元通信連接的控制單元，監控單元內設定的第一警報閾值形成第一道管制線對馬達的輸出扭力進行監控，控制單元內設定的第二警報閾值形成第二道管制線對馬達的輸出扭力進行監控，所述控制單元至少包括設定標準間距值的定制模塊、判定實時扭力值對應的間距值是否偏離所述標準間距值的第二判定模塊和調節所述動力單元輸出扭力值的補正模塊，其中，所述定制模塊根據所述監控單元建立的扭力-間距模型設定標準間距值，所述控制單元獲取實時扭力值，所述第二判定模塊將所述實時扭力值與所述扭力-間距模型進行比對，得出與所述實時扭力值相對應的間距值，所述第二判定模塊比對所述間距值與標準間距值并判定所述間距值是否偏離標準間距值，若偏離，則通過所述補正模塊調節馬達的輸出扭力值，使得馬達的輸出扭力值對應的間距值符合標準間距值，實現對所述定位桿與所述基板之間間距的自動補正、調節。

2.如權利要求1所述的基板定位監控系統，其特征在于，

所述監控單元還包括：

用以根據所述扭力值與所述間距值之間對應關系建立扭力-間距模型的建模模塊；

根據所述扭力-間距模型設定所述第一警報閾值的第一設定模塊。

3.如權利要求1所述的基板定位監控系統，其特征在于，所述動力單元與所述控制單元通信連接。

4.如權利要求3所述的基板定位監控系統，其特征在于，所述控制單元還包括用以控制所述動力單元啟停的控制模塊、根據預先建立的扭力-間距模型設定第二警報閾值的第二設定模塊和判定是否超出第二警報閾值的第三判定模塊。

5.如權利要求4所述的基板定位監控系統，其特征在于，所述控制單元還包括與所述第三判定模塊通信連接的報警模塊。

6.如權利要求1所述的基板定位監控系統，其特征在于，所述動力單元包括馬達，所述馬達的扭力輸出端連接有第一螺桿，所述第一螺桿遠離所述扭力輸出端一端通過聯軸器連接有第二螺桿，所述第一螺桿和所述第二螺桿上分別螺紋連接一所述定位桿，所述第一螺桿的螺紋旋向與所述第二螺桿的螺紋旋向相反。

7.如權利要求6所述的基板定位監控系統，其特征在于，所述定位桿的數量為2n個，n為大于或者等于1的整數；一個所述動力單元對應兩所述定位桿，或者，一個所述動力單元對應一個所述定位桿，多個所述定位桿圍成一用于定位基板的定位區。