[發明專利]一種探地雷達檢定裝置輔助標準組件的測量裝置及測量方法

在審

• 申請號: 202110867223.8
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113624143A
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 張金凝;周毅姝;劉越;任勵碩;陳柳清
• 申請（專利權）人: 交通運輸部公路科學研究所
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.一種探地雷達檢定裝置輔助標準組件的測量裝置，其特征在于：四個直線導軌組合成一個便攜式可拆卸三維位移臺，四個直線導軌分別為第一至第四直線導軌，第一直線導軌、第四直線導軌平行于Z軸，第二直線導軌平行于X軸，第三直線導軌平行于Y軸，激光干涉儀和線性干涉鏡固定在第二直線導軌上，線性反射鏡和反射鏡固定裝置固定在第三直線導軌上，其中激光干涉儀的入射光線與出射光線應平行于Y軸，且垂直于被測平板。

2.應用如權利要求1所述測量裝置的方法，其特征在于：

(1)四個直線導軌組合成一個便攜式可拆卸三維位移臺，第一直線導軌、第四直線導軌平行于Z軸且在Z軸產生共同運動，第二直線導軌平行于X軸且可在X軸方向運動，第三直線導軌平行于Y軸且可在Y軸方向運動，其中第三直線導軌可隨直線導軌沿X軸方向運動，第二直線導軌可隨第一和第四直線導軌共同沿Z軸方向運動；激光干涉儀和線性干涉鏡固定在第二直線導軌上可隨第二直線導軌沿X軸方向運動，線性反射鏡和反射鏡固定裝置固定在第三直線導軌上且可隨第三直線導軌上在Y軸方向運動，其中激光干涉儀的入射光線與出射光線應平行于Y軸，且垂直于被測平板；

(2)激光干涉儀通過直線度干涉鏡和直線度反射鏡測得直線導軌在Y軸方向運動中的直線度誤差，用于對最終測厚結果的誤差補償；

(3)通過一個固定位置對激光干涉儀初始標零，線性反射鏡通過一個直線桿插入固定裝置中，在測量過程中當直線桿接觸到被測物體表面時直線導軌停止移動，在此過程中激光干涉儀、線性干涉鏡、線性反射鏡相對位置不變；

(4)將線性反射鏡放置于被測平板的第一個被測點處，激光干涉儀通過三維位移臺自動調節位置，直到干涉儀處于正常工作狀態，找到初始測量位置，將反射鏡放置回固定裝置中；

(5)激光干涉儀會自動檢測每個被測平板上的多個測點，得到每個平面的平面度，從而計算得到被測物體的平均厚度；測量結束后激光干涉儀會自動回到初始零點位置，以便于移動被測平板。