[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材及其制備方法

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• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113683415A
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉芳;周志宏;肖世洪;雷雨
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C04B35/495
• 分類號: C04B35/495;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/08
• 代理公司: 廣州一銳專利代理有限公司 44369
• 代理人: 朱蓉艷

1.一種應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將MoO₃粉體、SrCO₃粉體加入到球磨機(jī)中，再加入分散劑、粘結(jié)劑、去離子水，球磨，干燥，得到SrMoO₄粉體；

S2、將SrMoO₄粉體放入到管式爐中，通入還原性氣體，將SrMoO₄粉體完全還原成SrMoO₃粉體；

S3、將SrMoO₃粉體進(jìn)行熱處理，得到前驅(qū)體粉末；

S4、將前驅(qū)體粉末用冷等靜壓設(shè)備壓制成型得到坯體；

S5、將坯體進(jìn)行排膠處理，燒結(jié)，得到應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述MoO₃粉體、SrCO₃粉體、分散劑、粘結(jié)劑、去離子水質(zhì)量比為1：0.9~1.1：0.01~0.05：0.02~0.06：0.2~0.5。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述MoO₃粉體、SrCO₃粉體、分散劑、粘結(jié)劑、去離子水質(zhì)量比為1：1：0.04：0.05：0.3。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述分散劑為聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸鈉中的一種或多種；

所述粘結(jié)劑為聚乙烯醇縮丁醛。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述S2步驟具體為：

將SrMoO4粉體放入到管式爐中，通入氨氣，在950~1200℃下還原8~13h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述S3熱處理具體為：將SrMoO3粉體在850~1000℃下處理4~10h。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述將前驅(qū)體粉末用冷等靜壓設(shè)備壓制成型得到坯體具體為：將前驅(qū)體粉末用冷等靜壓設(shè)備壓制成型，采用階梯式加壓和泄壓，加壓速率為15~25MPa/min，壓力升至180~220 MPa時，保壓6~12min，再以8~12 MPa/min泄壓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述排膠具體為：將坯體用熱風(fēng)循環(huán)排膠爐進(jìn)行排膠處理，排膠工藝具體為：以0.8~2℃/min升溫至180~220℃，保溫20~35min；以0.5~1.5℃/min升溫至250~350℃，保溫40~70min；以0.5~1.5℃/min升溫至480~550℃，保溫40~70min；冷卻至室溫。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結(jié)采用分段升溫和分段降溫，具體為：將排膠后的坯體置于燒結(jié)爐，以0.5~2℃/min升溫至1000~1100℃，保溫0.5~2h；以1~3℃/min升溫至1380~1420℃，保溫1~4h；以0.5~1.5℃/min降溫至1000~1100℃，保溫0.5~2h；以0.2~0.8℃/min降溫至800~850℃，保溫0.5~1h；以1~2℃/min降至室溫。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)的鈣鈦礦靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結(jié)采用分段升溫和分段降溫，具體為：將排膠后的坯體置于燒結(jié)爐，以0.8℃/min升溫至1050℃，保溫1h；以1.5℃/min升溫至1400℃，保溫2h；以1℃/min降溫至1050℃，保溫1h；以0.5℃/min降溫至820℃，保溫0.5h；以1.5℃/min降至室溫。