[發明專利]一種應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑、其制備方法及用途

有效

• 申請號: 202110862927.6
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113621346B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 侯軍;李傳強
• 申請（專利權）人: 浙江奧首材料科技有限公司
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14
• 代理公司: 大連大工智訊專利代理事務所(特殊普通合伙) 21244
• 代理人: 崔雪

1.一種應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑，其特征在于，包括重量配比如下的各組分：

氫鍵觸變劑 0.5-5份；

懸浮增效劑 0.5-5份；

電荷中和劑 0.1-1份；

分散劑 0.5-10份；

潤滑劑 10-20份；

防銹劑 0.1-0.5份；

水 50-85份；

所述氫鍵觸變劑是一類能在水溶液中短時間內可以通過氫鍵作用形成空間網格結構的觸變劑；所述氫鍵觸變劑為羧基改性膨潤土、羥基改性膨潤土、氨基改性膨潤土、氨基改性水滑石和羧基改性水滑石中的一種或多種的混合；

所述電荷中和劑為椰油酰胺丙基甜菜堿、十四烷胺、十六烷基胺和十八烷基二甲基芐基氯化銨中的一種或多種的混合。

2.根據權利要求1所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑，其特征在于，所述懸浮增效劑為聚醚多元醇、聚乙烯胺、聚丙烯亞胺和聚乙烯醇中的一種或多種的混合。

3.根據權利要求1所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑，其特征在于，所述分散劑為聚丙烯酸酯、聚丙烯酸鹽、聚氨酯和聚丙烯-聚磷酸酯嵌段共聚物中的一種或多種的混合。

4.根據權利要求1所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑，其特征在于，所述潤滑劑為乙二醇、聚乙二醇、丙三醇、異己二醇和丙二醇中的一種或多種的混合。

5.根據權利要求1所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑，其特征在于，所述防銹劑為月桂二酸、異構十二酸、聚天冬氨酸、癸二酸和辛酸中的一種或多種的混合。

6.一種權利要求1-5任意一項所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟（1）在攪拌條件下向去離子水中依次加入分散劑、潤滑劑、電荷中和劑和防銹劑，攪拌30-60min，至混合均勻；

步驟（2）將步驟（1）得到的溶液加熱至40-50℃，在1500-2500rpm持續攪拌下加氫鍵觸變劑，攪拌10-30min，至形成均勻乳液，停止高速攪拌，乳液靜置溶脹穩定1小時以上；

步驟（3）在50-100r/min的低速攪拌條件下，向步驟（2）得到的溶液中分兩次加入懸浮增效劑，攪拌30-60min，直至混合均勻，制備得到應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑。

7.一種權利要求1-5任意一項所述應用于大尺寸硅片研磨的懸浮助劑在研磨液領域的用途。