[發(fā)明專利]一種芯片晶圓暫存裝置及芯片晶圓暫存取件方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110857035.7
• 申請日: 2021-07-28
• 公開（公告）號: CN113299586B
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾尚文;劉高宸;陳久元;楊利明
• 申請（專利權(quán)）人: 四川通妙科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 成都誠中致達專利代理有限公司 51280
• 代理人: 阮濤

1.一種芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，包括：

箱體（1），箱體（1）包括底殼（11）和頂板（12）；頂板（12）上端面貫穿開設(shè)有多個晶圓口（121），頂板（12）上端面設(shè)有第一單軸直線氣缸（122），第一單軸直線氣缸（122）輸出軸一端設(shè)有擋板（1221），擋板（1221）底端面與晶圓口（121）匹配；

存取單元（2），設(shè)于底殼（11）內(nèi)底壁上端面，存取單元（2）包括運送機構(gòu)（21）和存放機構(gòu)（22）；運送機構(gòu)（21）包括一對車體（211），車體（211）底端面設(shè)有多組滾輪（2111），車體（211）上端面還設(shè)有一對無桿直線氣缸（213），無桿直線氣缸（213）一端設(shè)有延伸板（2132），運送機構(gòu)（21）還包括一對連接框（214），每個連接框（214）兩端分別架設(shè)于兩個車體（211）上方的延伸板（2132）上端，連接框（214）上端陣列有多個第三單軸直線氣缸（215），第三單軸直線氣缸（215）輸出軸一端設(shè)有穿管（2151），穿管（2151）一端面設(shè)有第一晶圓固定器（2152），第一晶圓固定器（2152）一端面開設(shè)有第一弧形凹槽（2153）；存放機構(gòu)（22）包括多個存放層（221），存放層（221）一端固定于底殼（11）一內(nèi)側(cè)壁，存放層（221）的長度從下到上遞減，遞減長度大于車體（211）長度，存放層（221）上端面陣列有多個夾持機構(gòu)（223），夾持機構(gòu)（223）包括固定臺（222），固定臺（222）一端預(yù)定距離設(shè)有一對旋轉(zhuǎn)電機（224），旋轉(zhuǎn)電機（224）輸出軸一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)板（226），固定臺（222）上端面陣列有多個第二晶圓固定器（227），旋轉(zhuǎn)板（226）一側(cè)面也陣列有多個第二晶圓固定器（227），第二晶圓固定器（227）一端面開設(shè)有第二弧形凹槽（2271）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，底殼（11）內(nèi)底壁上端面設(shè)有多條導(dǎo)槽（111），底殼（11）外壁一端面設(shè)有多個氮氣輸入口（112），氮氣輸入口（112）用于連接氮氣輸入管，底殼（11）一側(cè)面設(shè)有若干空氣干燥器（113），空氣干燥器（113）的輸入導(dǎo)管和輸出導(dǎo)管都穿設(shè)于底殼（11）一側(cè)面，底殼（11）另一側(cè)面設(shè)有若干超聲波加濕器（114），超聲波加濕器（114）輸出口一端連接有轉(zhuǎn)接管（1141），轉(zhuǎn)接管（1141）穿設(shè)于底殼（11）另一側(cè)面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，頂板（12）底端面開設(shè)有一對移動槽（123），移動槽（123）上端面凸起到超過頂板（12）上端預(yù)定距離，頂板（12）底端面還依次設(shè)有內(nèi)循環(huán)空調(diào)（124）、氣壓傳感器（125）、濕度傳感器（126）、溫度傳感器（127）。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，每組滾輪（2111）配合于導(dǎo)槽（111），車體（211）底端面還貫穿開設(shè)有開口，車體（211）上端面設(shè)有豎直設(shè)置的第二單軸直線氣缸（212），第二單軸直線氣缸（212）的輸出軸穿設(shè)于車體（211）底端面開口，第二單軸直線氣缸（212）的輸出軸一端設(shè)有固定塊（2121）。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，無桿直線氣缸（213）上端與移動槽（123）匹配，無桿直線氣缸（213）一側(cè)面滑動配合有滑塊（2131），延伸板（2132）設(shè)于滑塊（2131）一端，延伸板（2132）上端面開設(shè)有螺孔，連接框（214）兩端的上端面分別貫穿開設(shè)有通孔（2141），一通孔（2141）與一車體（211）上方延伸板（2132）的螺孔匹配，另一通孔（2141）與另一車體（211）上方延伸板（2132）的螺孔匹配，通孔（2141）與螺孔用于穿設(shè)螺桿，連接框（214）一端延伸有穿板（2142），穿板（2142）一側(cè)面貫穿開設(shè)有陣列設(shè)置的穿孔（2143），穿管（2151）穿設(shè)于穿孔（2143）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片晶圓暫存裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)電機（224）輸出軸一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)桿（2241），旋轉(zhuǎn)桿（2241）一端套設(shè)有旋轉(zhuǎn)座（225），旋轉(zhuǎn)座（225）底端設(shè)于存放層（221）上端面，旋轉(zhuǎn)板（226）套設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿（2241）外周側(cè)。