[發明專利]一種半導體測試機多個測試通道直流參數的校準方法

有效

• 申請號: 202110853883.0
• 申請日: 2021-07-28
• 公開（公告）號: CN113311374B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 魏津;張經祥;胡雪原
• 申請（專利權）人: 紳克半導體科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00;G01R31/26
• 代理公司: 上海專益專利代理事務所(特殊普通合伙) 31381
• 代理人: 方燕娜;王雯婷

1.一種半導體測試機多個測試通道直流參數的校準方法，包括半導體測試機，半導體測試機的每個待校準通道的輸入端分別連接一個線性運算電路模塊，其特征在于具體包括如下步驟：

S1，半導體測試機的每個待校準通道的輸入端分別連接一個線性運算電路模塊，每個線性運算電路模塊的輸入端共同連接一個非線性運算模塊；

S2，根據待校準通道的輸入-輸出值，獲取非線性運算模塊中的非線性變換公式；

S3，根據非線性運算模塊的運算結果，得出每個待校準通道的線性變換公式，并得到線性變換公式中的斜率值、截距值；

S4，將步驟S3得到的斜率值、截距值分別寫入每個待校準通道對應的線性運算電路模塊中；

S5，對半導體測試機的每個待校準通道輸入一個相同的輸入值，輸入值經過非線性運算模塊的運算得出第一中間值；

S6，第一中間值經過每個待校準通道線性運算電路模塊的運算，分別得出每個待校準通道的第二中間值；

S7，每個待校準通道的第二中間值經過對應的待校準通道的運行得到相同的輸出值，完成了待校準通道的校準；

所述的步驟S2的具體方法如下：

S21，對所有待校準通道輸入相同的輸入值X，測量所有待校準通道的輸出值Y_n，并求出所有待校準通道輸出值的平均數；

S22，設置每次的輸入值X_s為不同數值，重復步驟S21若干次，得出每次輸出值的平均數；

S23，以每次的輸入值X_s為橫坐標，每次輸出值的平均數為縱坐標，繪制非線性變換曲線圖；

S24，觀察非線性變換曲線規律，對非線性變換曲線進行分段曲線擬合，得出非線性變換公式；

所述的步驟S3的具體方法如下：

S31，以每次輸出值的平均數為橫坐標，每個測試通道的輸出值Y_n為縱坐標，繪制每個待校準通道的線性變換曲線圖；

S32，對每個待校準通道的線性變換曲線進行線性擬合，得到每個待校準通道的線性變換公式，m為斜率值，c為截距值。

2.一種半導體測試機多個測試通道直流參數的校準方法，包括半導體測試機，半導體測試機的每個待校準通道的輸入端分別連接一個線性運算電路模塊，其特征在于具體包括如下步驟：

S-1，半導體測試機的每個待校準通道的輸入端分別連接一個線性運算電路模塊，每個線性運算電路模塊的輸入端共同連接一個非線性運算模塊；

S-2，根據多個待校準通道的輸入-輸出值，獲取非線性運算模塊中的非線性變換公式；

S-3，根據非線性運算模塊的運算結果，得出每個待校準通道的線性變換公式，并得到線性變換公式中的斜率值、截距值；

S-4，將步驟S-3得到的斜率值、截距值分別寫入每個待校準通道對應的線性運算電路模塊中；

S-5，對半導體測試機的每個待校準通道輸入一個相同的輸入值，輸入值經過非線性運算模塊的運算得出第一中間值；

S-6，第一中間值經過每個待校準通道線性運算電路模塊的運算，分別得出每個待校準通道的第二中間值；

S-7，每個待校準通道的第二中間值經過對應的待校準通道的運行得到相同的輸出值；

所述的步驟S-2的具體方法如下：

S-21，選取一個待校準通道作為標準通道，對該標準通道依次輸入若干個輸入值A_s，并且設置若干個輸入值A_s為不同數值，測量該標準通道每次的輸出值B_s；

S-22，根據該標準通道的輸入-輸出值，繪制得到該標準通道的輸入-輸出曲線圖，作為非線性變換 曲線；

S-23，觀察非線性變換曲線規律，對非線性變換曲線進行分段曲線擬合，得出非線性變換公式；

所述的步驟S-3的具體方法如下：

S-31，對剩余待校準通道依次輸入若干個輸入值A_s，分別測量每個剩余待校準通道的輸出值B_n，

S-32，以標準通道每次輸出值B_s為橫坐標，每個待校準通道的輸出值B_n為縱坐標，繪制每個待校準通道的線性變換曲線；

S-33，對每個待校準通道的線性變換曲線進行線性擬合，得到每個待校準通道的線性變換公式，m為斜率值，c為截距值。