[發明專利]吸附裝置

有效

• 申請號: 202110851672.3
• 申請日: 2021-07-27
• 公開（公告）號: CN113548465B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 李冬青;李香濱;焦官華;徐欣
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G47/04
• 代理公司: 北京景聞知識產權代理有限公司 11742
• 代理人: 常鵬

1.一種吸附裝置，其特征在于，包括：

機架；

第一吸附組件，所述第一吸附組件固定在所述機架上，所述第一吸附組件包括：多個間隔分布的第一吸附件；

驅動組件，所述驅動組件設置于所述機架上且與所述第一吸附組件在所述機架上間隔設置，所述驅動組件為電控驅動組件或液控驅動組件；

第二吸附組件，所述第二吸附組件設置于所述驅動組件上且與所述驅動組件傳動連接，以在所述驅動組件的驅動作用下靠近或遠離所述第一吸附組件，所述第二吸附組件包括：多個間隔分布的第二吸附件；

控制閥，所述控制閥設置于所述第一吸附組件和/或所述第二吸附組件，以控制所述第一吸附件和/或所述第二吸附件的開閉，所述控制閥為電控閥或液控閥；

所述第一吸附組件和所述第二吸附組件均包括：第一通道件和第二通道件，所述第一通道件和所述第二通道件均設置于所述機架上，所述第一通道件內設置有第一通道，多個所述第一吸附件/所述第二吸附件中的第一部分串聯連接在所述第一通道上，所述第二通道件內設置有多個第二通道，多個所述第一吸附件/所述第二吸附件中的第二部分并聯連接在多個所述第二通道上，所述控制閥至少設置于一個所述第二通道上。

2.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述驅動組件包括：驅動件、底座、第一傳動件和第二傳動件，所述底座設置于機架上，所述驅動件設置于所述底座上，所述第一傳動件與所述驅動件傳動連接，所述第二傳動件設置于所述第一傳動件且與所述第一傳動件傳動連接，所述第二傳動件與所述第二吸附組件固定連接。

3.根據權利要求2所述的吸附裝置，其特征在于，所述驅動件為驅動電機，所述第一傳動件為絲杠，所述第二傳動件為帶有螺紋的滑塊，所述底座上設置有滑軌，所述滑塊可滑動地設置于所述滑軌。

4.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一通道件和所述第二通道件的長度方向均為第一方向，所述第一通道件和所述第二通道件在第一方向上排布，所述第一吸附組件和所述第二吸附組件在第二方向上間隔設置，所述第一方向與所述第二方向垂直設置。

5.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，設置于所述第一通道件上的所述第一吸附件和所述第二吸附件均包括：連接件和吸盤，所述連接件連接在所述第一通道件和所述吸盤之間，所述連接件為連接管或止回閥。

6.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一吸附件組件和所述第二吸附組件均還包括：封堵件，所述第一通道對應設置有多個通口，所述第一吸附件或所述第二吸附件設置于多個所述通口中的第一部分，所述封堵件設置于多個所述通口中的另一部分。

7.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述控制閥為電磁閥。

8.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一吸附組件為至少兩個，所述機架包括：第一連接桿、第二連接桿和至少兩個第三連接桿，所述第二連接桿和所述驅動組件設置于所述第一連接桿，至少兩個所述第三連接桿分別設置于所述第二連接桿上且與所述第二連接桿垂直設置，至少兩個所述第一吸附組件均設置于至少兩個所述第三連接桿且在所述第三連接桿的長度方向上間隔設置。

9.根據權利要求8所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一連接桿、所述第二連接桿和所述第三連接桿中的至少一個為鋁型材。