[發(fā)明專利]一種微流道結(jié)構(gòu)、微流控芯片及制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110850004.9
• 申請(qǐng)日: 2021-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN113546702A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣仲平;王乾坤;朱星月;余江波;張執(zhí)南;丁顯廷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號(hào): B01L3/00
• 分類號(hào): B01L3/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31227
• 代理人: 俞磊

1.一種微流道結(jié)構(gòu)，包括從上至下依次設(shè)置的第一基片(10)、生物特征物檢測(cè)芯片(11)以及第二基片(9)，其特征在于，所述第一基片(10)上設(shè)置有注入單元、流道區(qū)(4)、廢液流出區(qū)(5)，所述第二基片(9)上設(shè)置有引流道(6)和安裝凹槽(7)；

所述注入單元包括與引流道(6)相匹配的注入口(1)、進(jìn)料槽道(2)和匯入槽道(3)，所述注入口(1)的進(jìn)液端與第二基片(9)上的引流道(6)連接，注入口(1)的出液端通過進(jìn)料槽道(2)與流道區(qū)(4)的進(jìn)液端連接；

所述流道區(qū)(4)的進(jìn)液端與進(jìn)料槽道(2)連接，流道區(qū)(4)的出液端與廢液流出區(qū)(5)連接；

所述生物特征物檢測(cè)芯片(11)的一面固定設(shè)置在安裝凹槽(7)內(nèi)，生物特征物檢測(cè)芯片(11)的另一面與第一基片(10)固定接觸，生物特征物檢測(cè)芯片(11)上設(shè)置有生物特征物檢測(cè)電極(8)，生物特征物檢測(cè)芯片(11)與生物特征物檢測(cè)電極(8)通過導(dǎo)線連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微流道結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)料槽道(2)、匯入槽道(3)、流道區(qū)(4)和廢液流出區(qū)(5)的橫截面均為矩形，且高度一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微流道結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述流道區(qū)(4)為蛇形設(shè)置，流道區(qū)(4)的底部與生物特征物電極(8)直接接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微流道結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述引流道(6)、注入單元、流道區(qū)(4)和廢液流出區(qū)(5)上均涂敷有親水涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微流道結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述由12個(gè)注入口(1)并聯(lián)組成，每三個(gè)注入口(1)通過對(duì)應(yīng)的進(jìn)料槽道(2)與匯入槽道(3)連接，每個(gè)匯入槽道(3)的出液端與流道區(qū)(4)的進(jìn)液端連接。

6.一種微流控芯片，其特征在于，具有權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的微流道結(jié)構(gòu)。

7.一種微流控芯片的制備工藝，其特征在于，所述微流控芯片的制備工藝包括如下步驟：

1)薄膜沉積，在第一基片(10)和第二基片(9)的表面上覆蓋一層薄膜；

2)光刻，使用甩膠機(jī)在薄膜的表面均勻的涂抹上一層光膠；

3)曝光刻蝕，通過曝光刻蝕將光膠層上的平面二維圖像轉(zhuǎn)移到薄膜上，并且在第一基片(9)和第二基片(10)上加工成一定深度的微結(jié)構(gòu)；

4)組合成型，第一基片(10)和第二基板(9)制作完成后，將第一基片(10)上的注入口(1)與第二基片(9)上的引流道(6)一一對(duì)應(yīng)進(jìn)行相對(duì)定位，然后通過鍵合將兩塊基片相連接。