[發明專利]一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置

在審

• 申請號: 202110842480.6
• 申請日: 2021-07-26
• 公開（公告）號: CN113643948A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 張偉;仇小軍;王劉成;劉駿
• 申請（專利權）人: 無錫日聯科技股份有限公司
• 主分類號: H01J9/39
• 分類號: H01J9/39;H01J35/16
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 姜曉鈺

本發明涉及X射線管技術領域，尤其是一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置，包括高頻加熱線圈和排氣尾管，所述高頻加熱線圈包裹在X射線管的外部對X射線管進行加熱，所述排氣尾管的一端與X射線管連通，所述排氣尾管的另一端與真空排氣系統連通，本發明可以解決現有技術中X射線管的除氣有限的問題。

技術領域

本發明涉及射線管技術領域，具體領域為一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置。

背景技術

微焦點X射線管由于高壓絕緣要求，x射線管腔體必須維持超高真空；而對于零部件的除氣是一個必須要解決的問題。目前除氣的方式是在真空抽氣的同時對整個X射線管高溫烘烤，以達到除氣的效果。但是X射線管內零部件種類很多，很多零件由于材料本身不能耐很高溫度，所以整體X射線管的除氣有限，最后生產X射線管的真空度也受此限制不能達到很高級別，這就限制了X射線管的高壓極限。

發明內容

本發明的目的在于提供一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置，以解決現有技術中X射線管的除氣有限的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置，包括高頻加熱線圈和排氣尾管，所述高頻加熱線圈包裹在X射線管的外部對X射線管進行加熱，所述排氣尾管的一端與X射線管連通，所述排氣尾管的另一端與真空排氣系統連通。

優選的，所述高頻加熱線圈嵌入運動機構內，所述運動機構驅動所述高頻加熱線圈上下移動。

優選的，所述運動機構包括伺服電機。

優選的，所述X射線管的外殼為玻璃或陶瓷材質。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：X射線管與真空排氣系統連通，高頻加熱線圈對射線管進行加熱除氣，加熱時由于X射線管內部真空度很高，金屬零件的熱很難傳導至其他零件，不會損壞其他零件，從而達到良好的除氣效果；高頻加熱線圈可以上下運動，能對X射線管內部金屬零件多處均勻地重復加熱，進一步提升除氣效果。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明的結構剖視圖。

圖中：1.X射線管、2.高頻加熱線圈、3.排氣尾管。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1-2，本發明提供一種技術方案：一種微焦點X射線管高頻真空除氣裝置，包括高頻加熱線圈2和排氣尾管3，X射線管1的外殼為玻璃或陶瓷材質，高頻加熱線圈2包裹在X射線管1的外部對X射線管1進行加熱，排氣尾管3的一端與X射線管1連通，排氣尾管3的另一端與真空排氣系統連通，除氣時，由于X射線管1與真空排氣系統連通，這樣X射線管1內可以隨時保持高真空度，高頻加熱線圈2在對X射線管1加熱時，X射線管1內部的金屬零件隨高頻感應加熱，但是金屬零件的熱因為高真空度就很難傳導給其他零件，這樣除氣時，哪怕金屬零件被加熱至很高的溫度也不會損壞其他零件，這樣可以對X射線管1進行最大程度的除氣，保證其良好的除氣效果，生產出的X射線管1高壓極限也得到了提升。

優選的，高頻加熱線圈2嵌入運動機構(圖未示出)內，可以帶動某個部件上下運動的運動機構屬于現有技術，本申請不再進行贅述，運動機構內部的伺服電機驅動高頻加熱線圈2上下移動，使得X射線管1內部金屬零件得到均勻地重復加熱，以達到除氣的效果。