[發明專利]一種超聲波掃查儀高質量成像裝置及其工作方法

在審

• 申請號: 202110837985.3
• 申請日: 2021-07-23
• 公開（公告）號: CN113406210A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 歷德義;丁兆達
• 申請（專利權）人: 上海季豐電子股份有限公司
• 主分類號: G01N29/06
• 分類號: G01N29/06;G01N29/22;G01F23/00;G01N27/06
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

本發明公開了一種超聲波掃查儀高質量成像裝置及其工作方法，超聲波掃查儀高質量成像裝置包括：水箱、超聲波查掃機構、承載臺、供水機構、液位檢測機構、排水機構和電阻率檢測頭，水箱內存儲有去離子水，供水機構與水箱的內部連通，供水機構用于向水箱內注入去離子水，液位檢測機構安裝于水箱內，液位檢測機構用于檢測水箱內的液面高度，排水機構與水箱的內部連通，排水機構內設置有電阻率檢測頭，承載臺設置于水箱內，承載臺上承載有待檢測的芯片。通過對本發明的應用，提供了一種以去離子水作為超聲波檢測介質的芯片檢測設備，降低了污染物以及其他離子等雜質混入去離子水中對檢測結果帶來的干擾，進一步地提高了芯片的檢測效率和檢測質量。

技術領域

本發明涉及芯片質量檢測技術領域，尤其涉及一種超聲波掃查儀高質量成像裝置及其工作方法。

背景技術

目前，隨著半導體芯片的快速發展，也帶動了圍繞芯片檢測服務行業的發展。對于封裝越來越小化的芯片而言，無損檢測越來越重要。因此，超聲波檢測儀器得到了相應的應用，超聲波對芯片進行檢測的過程中幾乎沒有損傷。通過超聲波的發射能夠準確找到不同封裝間的問題，例如常見的DIE與塑封體的分離，中間夾雜者空氣，由于超聲波遇空氣全反射原理，有問題的地方，掃描出來的圖片顏色會比較暗，并且除了遇到空氣反射，遇到不同密度的材料也會發生部分反射，并導致最后超聲波檢測儀的成像十分混亂。因此，超聲波雖然可以檢測芯片的每一層的問題，但是仍然存在有較大的干擾，極大地影響了芯片質量的檢測精準度，給檢測人員帶來了一定不必要的工作量。

發明內容

有鑒于此，為解決上述問題，本發明的目的在于提供一種超聲波掃查儀高質量成像裝置，包括：水箱、超聲波查掃機構、承載臺、供水機構、至少一液位檢測機構、至少一排水機構和至少一電阻率檢測頭，所述水箱內存儲有去離子水，所述供水機構與所述水箱的內部連通，所述供水機構用于向所述水箱內注入去離子水，所述液位檢測機構安裝于所述水箱內，所述液位檢測機構用于檢測所述水箱內的液面高度，所述排水機構與所述水箱的內部連通，所述排水機構內設置有所述電阻率檢測頭，所述承載臺設置于所述水箱內，所述承載臺上承載有待檢測的芯片，所述超聲波查掃機構的檢測端伸入所述水箱內，所述超聲波查掃機構用于對所述芯片進行檢測。

在另一個優選的實施例中，還包括：控制主機和報警裝置，所述控制主機設置于所述水箱的一側，所述報警裝置安裝于所述控制主機上，所述報警裝置、所述供水機構、所述排水機構、所述電阻率檢測頭和所述液位檢測機構均與所述控制主機通信連接。

在另一個優選的實施例中，所述超聲波查掃機構包括：移動架、X-Y雙向移動機構和上超聲波探頭，所述X-Y雙向移動機構的固定端固定安裝于所述水箱的外側，所述X-Y雙向移動機構的移動端與所述移動架固定連接，所述X-Y雙向移動機構用于驅動所述移動架移動至水平面上的任意一處，所述上超聲波探頭安裝于所述移動架上，所述上超聲波探頭的檢測端豎直向下設置，所述上超聲波探頭的檢測端伸入至所述水箱的液面以下，所述上超聲波探頭的檢測端可操作地設置于所述芯片的上方。

在另一個優選的實施例中，所述超聲波查掃機構還包括：下超聲波探頭，所述移動架呈C字型結構設置，所述上超聲波探頭固定安裝于所述移動架的上部，所述下超聲波探頭設置于所述移動架的下部，所述下超聲波探頭的檢測端豎直向上設置且正對所述上超聲波探頭的檢測端，所述上超聲波探頭的檢測端與所述下超聲波探頭的檢測端之間間隔有一定距離，所述下超聲波探頭可操作地設置于所述芯片的正下方。

在另一個優選的實施例中，所述供水機構包括：儲水罐、出水管、供水泵和注入管，所述儲水罐內存儲有去離子水，所述儲水罐與所述出水管連接，所述出水管與所述供水泵連接，所述供水泵與所述注入管連接，所述注入管與所述水箱內連通。

在另一個優選的實施例中，所述液位檢測機構包括：容置筒、上液位傳感器和下液位傳感器，所述容置筒呈圓筒形結構，所述容置筒的軸線沿豎直方向設置，所述容置筒的下部向下延伸形成有一縮口管，所述容置筒伸入所述水箱設置，所述縮口管的內徑小于所述容置筒的內徑，所述上液位傳感器設置于所述容置筒的內側的上部，所述下液位傳感器設置于所述容置筒的內側的下部。