[發(fā)明專利]基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110837581.4
• 申請(qǐng)日: 2021-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115692273A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，包括：

夾持機(jī)構(gòu)，用于夾持基板；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)使所述夾持機(jī)構(gòu)在與所述基板接觸的接觸位置與離開(kāi)所述基板的退避位置之間進(jìn)退；

反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)的一端與所述夾持機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)的另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，以使所述基板反轉(zhuǎn)并使所述基板的中心軸線從第一位置運(yùn)動(dòng)到第二位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)包括連接臂和伸縮組件，所述連接臂和所述伸縮組件連接，通過(guò)所述伸縮組件調(diào)節(jié)所述連接臂的長(zhǎng)度，以使所述基板搬運(yùn)到預(yù)設(shè)位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)和所述旋轉(zhuǎn)軸中的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)，以使所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)包括第一夾持組件和第二夾持組件，所述第一夾持組件和所述第二夾持組件相對(duì)夾持于所述基板的周緣部；

所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)包括第一旋轉(zhuǎn)連接組件和第二旋轉(zhuǎn)連接組件，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端部與該端部同側(cè)設(shè)置的所述第一旋轉(zhuǎn)連接組件活動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)軸的另一端部與該端部同側(cè)設(shè)置的所述第二旋轉(zhuǎn)連接組件活動(dòng)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)連接組件與所述第一夾持組件連接，所述第二旋轉(zhuǎn)連接組件與所述第二夾持組件連接，所述第一旋轉(zhuǎn)連接組件和所述第二旋轉(zhuǎn)連接組件分別帶動(dòng)所述第一夾持組件和所述第二夾持組件繞所述旋轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述第一夾持組件和所述第二夾持組件均包括固定組件，所述固定組件包括下導(dǎo)向件固定組件、上導(dǎo)向件固定組件和固定支撐件，所述下導(dǎo)向件固定組件和所述上導(dǎo)向件固定組件分別與所述固定支撐件活動(dòng)連接，所述第一夾持組件的固定支撐件與所述第一旋轉(zhuǎn)連接組件連接固定，所述第二夾持組件的固定支撐件與所述第二旋轉(zhuǎn)連接組件連接固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述第一夾持組件和所述第二夾持組件均包括：

若干下導(dǎo)向件，與所述基板的周緣部接觸并從下方支撐所述基板，所述若干下導(dǎo)向件固定設(shè)置于所述下導(dǎo)向件固定組件；

若干上導(dǎo)向件，與所述基板的周緣部接觸并與所述下導(dǎo)向件夾持所述基板，所述若干上導(dǎo)向件固定設(shè)置于所述上導(dǎo)向件固定組件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一夾爪組件、第二夾爪組件、第三夾爪組件和第四夾爪組件；

所述第一夾爪組件與所述第一夾持組件中的所述下導(dǎo)向件固定組件連接，以控制所述第一夾持組件中的所述下導(dǎo)向件在所述接觸位置與所述退避位置之間進(jìn)退；

所述第二夾爪組件與所述第一夾持組件中的所述上導(dǎo)向件固定組件連接，以控制所述第一夾持組件中的所述上導(dǎo)向件在所述接觸位置與所述退避位置之間進(jìn)退；

所述第三夾爪組件與所述第二夾持組件中的所述下導(dǎo)向件固定組件連接，以控制所述第二夾持組件中的所述下導(dǎo)向件在所述接觸位置與所述退避位置之間進(jìn)退；

所述第四夾爪組件與所述第二夾持組件中的所述上導(dǎo)向件固定組件連接，以控制所述第二夾持組件中的所述上導(dǎo)向件在所述接觸位置與所述退避位置之間進(jìn)退。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板翻轉(zhuǎn)搬送裝置，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)還包括切換機(jī)構(gòu)，所述切換機(jī)構(gòu)與所述下導(dǎo)向件固定組件和所述上導(dǎo)向件固定組件中的至少一個(gè)連接，使所述下導(dǎo)向件固定組件和所述上導(dǎo)向件固定組件相對(duì)滑動(dòng)以改變所述下導(dǎo)向件和所述上導(dǎo)向件與所述基板的接觸狀態(tài)；

所述下導(dǎo)向件包括通過(guò)所述切換機(jī)構(gòu)進(jìn)行切換而選擇性地與所述基板接觸的第一下接觸區(qū)域和第二下接觸區(qū)域；

所述上導(dǎo)向件包括通過(guò)所述切換機(jī)構(gòu)進(jìn)行切換而選擇性地與所述基板接觸的第一上接觸區(qū)域以及第二上接觸區(qū)域。