[發(fā)明專利]一種制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法和裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110837061.3
• 申請(qǐng)日: 2021-07-23
• 公開（公告）號(hào): CN113571606A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳維強(qiáng);王存輝;韓涵;黃國(guó)保;張鶴仙;范衛(wèi)芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陜西眾森電能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/20
• 分類號(hào): H01L31/20;H01L31/0224
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11363
• 代理人: 逯長(zhǎng)明;許偉群

1.一種制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

將異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片置于磁吸附板和具有鏤空掩膜圖案的導(dǎo)磁掩膜板中間，所述異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片具有ITO薄膜的一面與所述導(dǎo)磁掩膜板相對(duì)設(shè)置，所述磁吸附板和所述導(dǎo)磁掩膜板通過磁性將所述異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片固定在所述磁吸附板和所述導(dǎo)磁掩膜板中間，形成磁吸附掩膜工裝；

將所述磁吸附掩膜工裝置于真空鍍膜設(shè)備中，通過所述真空鍍膜設(shè)備在所述異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片的ITO薄膜上制備合金種子層?xùn)啪€和金屬種子層?xùn)啪€，所述合金種子層?xùn)啪€耦合在所述ITO薄膜上，所述金屬種子層?xùn)啪€耦合在所述合金種子層?xùn)啪€上，得到具有所述合金種子層和所述金屬種子層的若干條互相平行或相交的種子疊層?xùn)啪€的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片；

通過波峰焊浸錫工藝或絲網(wǎng)印刷錫膏及熱處理工藝在所述具有種子疊層?xùn)啪€的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片上制備錫合金柵線，所述錫合金柵線耦合在所述種子疊層?xùn)啪€上，得到具有錫合金柵線電極的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述的制備錫合金柵線包括以下步驟：

通過波峰焊浸錫工藝在所述的具有種子疊層?xùn)啪€的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片上制備第一錫合金柵線，將所述第一錫合金柵線耦合在所述金屬種子層?xùn)啪€上，得到具有第一錫合金柵線的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片；

通過波峰焊浸錫工藝在所述具有第一錫合金柵線的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片上制備第二錫合金柵線，將所述第二錫合金柵線耦合在所述第一錫合金柵線上，得到具有錫合金柵線電極的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述合金種子層?xùn)啪€包括鈦種子層?xùn)啪€、鎳種子層?xùn)啪€或鎳鉻合金種子層?xùn)啪€中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述金屬種子層?xùn)啪€包括銅種子層?xùn)啪€或銅合金種子層?xùn)啪€。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述錫合金柵線的材料包括錫、鉛、鉍、銀、銅中的至少一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的方法，其特征在于，所述的制備錫合金柵線包括以下步驟：

通過絲網(wǎng)印刷錫膏工藝在所述的具有種子疊層?xùn)啪€的異質(zhì)太陽(yáng)結(jié)電池上印刷錫膏，所述的錫膏印刷在所述種子疊層?xùn)啪€上；

根據(jù)錫膏的熔點(diǎn)進(jìn)行熱處理，使所述錫膏熔化形成錫合金柵線。

7.一種異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極，其特征在于，所述異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極包括：異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片、合金種子層?xùn)啪€、金屬種子層?xùn)啪€、金屬柵線，所述合金種子層?xùn)啪€耦合在所述異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片的ITO薄膜上，所述金屬種子層?xùn)啪€耦合在所述合金種子層?xùn)啪€上，所述金屬柵線耦合在所述金屬種子層?xùn)啪€上。

8.一種用于制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的裝置，其特征在于，包括磁吸附板和具有鏤空掩膜圖案的導(dǎo)磁掩膜板，所述導(dǎo)磁掩膜板和所述磁吸附板相對(duì)設(shè)置，將異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池片通過所述磁吸附板的磁性固定在所述磁吸附板和所述導(dǎo)磁掩膜板中間，形成磁吸附掩膜工裝。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的裝置，其特征在于，所述磁吸附板包括永磁吸附板或電磁吸附板中的一種，所述永磁吸附板包括永磁體和包覆所述永磁體的金屬薄板，所述金屬薄板的表面平整度小于10μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制備異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池電極的裝置，其特征在于，所述導(dǎo)磁掩膜板包括Invar36或不銹鋼中的一種，且所述導(dǎo)磁掩膜板的厚度為10-1000μm。