[發明專利]具有兩種或更多種頻率模式的光機械諧振器

在審

• 申請號: 202110832896.X
• 申請日: 2021-07-22
• 公開（公告）號: CN114076831A
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 馬修·帕克特;吳劍峰;尼爾·克呂格爾;史蒂文·廷
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01P15/03
• 分類號: G01P15/03;G01P15/097
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 陳嵐

1.一種加速度計系統，所述加速度計系統包括：

諧振器；

發光裝置，所述發光裝置被配置為基于誤差信號生成光信號；

調制器，所述調制器被配置為：

接收所述光信號；

響應于接收到所述光信號而生成經調制的光信號；以及

將所述經調制的光信號輸出到所述諧振器；

光接收器，所述光接收器被配置為：

從所述諧振器接收通過的光信號，其中所述通過的光信號表示所述經調制的光信號的穿過所述諧振器的一部分，所述通過的光信號指示所述諧振器的諧振頻率；

從所述諧振器接收反射的光信號，其中所述反射的光信號表示所述經調制的光信號的被所述諧振器反射的一部分；以及

基于所述通過的光信號和所述反射的光信號生成一個或多個電信號；和

處理電路，所述處理電路被配置為：

基于所述反射的光信號的由所述一個或多個電信號指示的一個或多個參數來生成所述誤差信號；以及

基于由所述一個或多個電信號指示的所述諧振頻率來確定所述加速度。

2.根據權利要求1所述的加速度計系統，其中所述發光裝置為第一發光裝置，其中所述誤差信號為第一誤差信號，其中所述光信號為第一光信號，其中所述調制器為第一調制器，其中所述經調制的光信號為第一經調制的光信號，其中所述通過的光信號為通過的第一光信號，其中所述反射的光信號為反射的第一光信號，其中所述諧振頻率為第一諧振頻率，并且其中所述加速度計系統還包括：

第二發光裝置，所述第二發光裝置被配置為基于第二誤差信號生成第二光信號；

第二調制器，所述第二調制器被配置為：

接收所述第二光信號；

響應于接收到所述第二光信號而生成經調制的第二光信號；以及

將所述經調制的第二光信號輸出到所述諧振器，

其中所述光接收器被進一步配置為：

從所述諧振器接收通過的第二光信號，其中所述通過的第二光信號表示所述經調制的第二光信號的穿過所述諧振器的一部分，所述通過的第二光信號指示所述諧振器的第二諧振頻率；

從所述諧振器接收反射的第二光信號，其中所述反射的第二光信號表示所述經調制的第二光信號的被所述諧振器反射的一部分；以及

基于所述通過的第二光信號和所述反射的第二光信號生成所述一個或多個電信號，并且

其中所述處理電路被進一步配置為：

基于由所述一個或多個電信號指示的所述反射的第二光信號的一個或多個參數來生成所述第二誤差信號；以及

基于由所述一個或多個電信號指示的所述第一諧振頻率和所述第二諧振頻率來確定所述加速度。

3.根據權利要求2所述的加速度計系統，其中所述光接收器生成所述一個或多個電信號以反映所述第一諧振頻率和所述第二諧振頻率之間的差值，并且其中所述處理電路被配置為基于所述第一諧振頻率和所述第二諧振頻率之間的所述差值來確定所述加速度。

4.根據權利要求2所述的加速度計系統，其中所述第一調制器被配置為將所述經調制的第一光信號發射到所述諧振器的第一端部，并且其中所述第二調制器被配置為將所述經調制的第二光信號發射到所述諧振器的第二端部。

5.根據權利要求2所述的加速度計系統，其中所述諧振器包括機械梁，所述機械梁沿縱向軸線從第一端部延伸到第二端部，其中所述機械梁包括：

第一振蕩表面，所述第一振蕩表面沿所述縱向軸線從所述第一端部延伸到所述第二端部；和

第二振蕩表面，所述第二振蕩表面與所述第一振蕩表面相對，其中所述第二振蕩表面沿所述縱向軸線從所述第一端部延伸到所述第二端部，

其中所述第一振蕩表面導致所述諧振器以所述第一諧振頻率振動，并且

其中所述第二振蕩表面導致所述諧振器以所述第二諧振頻率振動。

6.根據權利要求5所述的加速度計系統，其中所述第一振蕩表面的第一振蕩圖案沿所述縱向軸線從所述第二振蕩表面的第二振蕩圖案偏移，使得所述第一振蕩圖案的一個或多個峰與所述第二振蕩圖案的一個或多個谷對齊。