[發明專利]監視裝置和具有監視裝置的裝置

在審

• 申請號: 202110832312.9
• 申請日: 2021-07-22
• 公開（公告）號: CN114001019A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 井口修一
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00;F04B39/00;F04B37/14;G01H1/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

本發明涉及監視裝置和具有監視裝置的裝置，監視裝置裝配于第一腳部，檢測由第一腳部產生的振動。監視裝置具備包含慣性傳感器的傳感器單元、傳感器單元的裝配用板、與第一腳部抵接的間隔件以及固定用螺栓，并在按順序重疊有間隔件、板、傳感器單元的狀態下通過螺栓裝配于第一腳部，間隔件比板柔軟。

技術領域

本發明涉及監視裝置和具有監視裝置的裝置。

背景技術

專利文獻1公開了收納電機的真空泵。根據其內容，電機的旋轉軸由一對軸承固定。旋轉翼設置于旋轉軸，電機使旋轉翼旋轉，從而作為泵發揮功能。當軸承的滾珠劣化時，軸承振動。根據該文獻，在軸承的固有振動數的旋轉速度域中，通過使該軸承的振動衰減，從而真空泵能減少主軸的傾斜或軸向的位置偏移。

為了進行這種真空泵的預維護，可考慮裝配搭載有傳感器單元的監視裝置。真空泵一般通過腳部固定于地面或基臺。該真空泵主體或腳部的大多數是由鑄件形成的。

專利文獻1：日本特開2000-74080號公報

然而，將監視裝置裝配到真空泵等振動源是不容易的。詳細地說，由于鑄件的表面有凹凸，因此難以可靠地固定監視裝置。當固定不穩定時，除振動源之外，還發生監視裝置本身振動的噪聲振動，無法進行準確的計測。也就是說，要求能將監視裝置可靠地固定于振動源并能精度良好地檢測振動發生源的振動的結構。

發明內容

監視裝置裝配于振動發生源，檢測由所述振動發生源產生的振動，所述監視裝置具備：傳感器單元，包含慣性傳感器；板，設置有所述傳感器單元；間隔件，與所述振動發生源抵接；以及螺釘，構成為在按順序重疊有所述間隔件、所述板、所述傳感器單元的狀態下，裝配于所述振動發生源，所述間隔件比所述板柔軟。

裝置具備：可動體；箱體，收納所述可動體；以及上述任意一項中記載的所述監視裝置，裝配于所述箱體。

附圖說明

圖1是示出第一實施方式所涉及的真空泵的構成的概略立體圖。

圖2是示出真空泵的內部結構的示意側視截面圖。

圖3是示出真空泵的內部結構的示意俯視截面圖。

圖4是示出向第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意側視圖。

圖5是示出向第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意側視截面圖。

圖6是比較例的真空泵的振動測定圖譜。

圖7是第一實施方式所涉及的真空泵的振動測定圖譜。

圖8是用于說明間歇驅動時的振動測定值的偏差的圖。

圖9是用于說明反復進行監視裝置的裝卸時振動測定值的偏差的圖。

圖10是示出向第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意俯視圖。

圖11是示出向第二實施方式所涉及的第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意側視圖。

圖12是示出向第三實施方式所涉及的第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意俯視圖。

圖13是示出向第四實施方式所涉及的第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意俯視圖。

圖14是示出向第五實施方式所涉及的第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意俯視圖。

圖15是示出向第六實施方式所涉及的第一腳部設置監視裝置的設置例的主要部位示意俯視圖。

附圖標記說明