[發明專利]一種微窄條帶濾光片的制備方法有效
| 申請號： | 202110832012.0 | 申請日： | 2021-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN113625382B | 公開（公告）日： | 2022-12-09 |
| 發明（設計）人： | 魚衛星;郭權;武登山 | 申請（專利權）人： | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B5/28 | 分類號： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 條帶 濾光 制備 方法 | ||
1.一種微窄條帶濾光片的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
步驟一、基底熔蝕
取玻璃基底，利用激光誘導等離子體在玻璃基底表面刻蝕垂直槽，所述垂直槽的寬度為0.1mm，深度為30-50um，且相鄰所述垂直槽之間間隔0.05-0.1mm；
步驟二、濾光膜層蒸鍍
對玻璃基底上刻蝕的垂直槽進行濾光膜層蒸鍍，濾光膜層厚度＜所述垂直槽深度；
步驟三、玻璃基底底面減薄
將鍍有濾光膜的一面粘接到拋光盤上，用光學玻璃研磨機對玻璃基底底面進行研磨和拋光，直至玻璃基底厚度接近設定值；
步驟四、玻璃基底切割
利用激光切割機或飛秒激光器從底面對減薄的玻璃基底進行切割，切割位置為垂直槽邊界處；
步驟五、玻璃基底裂片釋放
利用裂片機對進行切割后的玻璃基底進行裂片釋放，去除掉所述垂直槽對應的部分，剩余部分為微窄條帶濾光片。
2.如權利要求1所述的一種微窄條帶濾光片的制備方法，其特征在于：在步驟三中，所述設定值為100μm±5μm。
3.如權利要求2所述的一種微窄條帶濾光片的制備方法，其特征在于：在步驟一中，所述玻璃基底為石英玻璃，石英玻璃的厚度為0.5-1mm。
4.如權利要求3所述的一種微窄條帶濾光片的制備方法，其特征在于：在步驟三中，將鍍有濾光膜的一面采用石蠟粘接到拋光盤上。
5.如權利要求1所述的一種微窄條帶濾光片的制備方法，其特征在于：在步驟二中，所述蒸鍍的濾光膜層結構為Fabry-Perot(F-P)。
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